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피검물질에 광을 조사하는 광원;상기 광원으로부터 조사된 광을 분할하는 빔스프리터;상기 광원에서 조사된 후 상기 피검물질을 통과한 광을 반사시키는 광학 탐침;상기 피검물질의 표면에서 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광이 간섭을 일으켜 생긴 간섭광을 검출하는 광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 광학 탐침은 반사형 탐침으로 이루어진 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 1항에 있어서, 상기 광학 탐침은 광섬유로 이루어진 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 광학 탐침은 피검 물질의 근접장 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피검 물질을 통과한 광이 광학 탐침에서 반사되는 영역은 광원에서 조사되는 광의 파장보다 작은 크기를 가지는 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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피검물질에 광을 조사하는 광원;상기 피검물질을 통과한 광의 일부를 반사시키고, 나머지 광을 투과시키는 광학 탐침;상기 피검물질의 표면에서 반사된 광과 상기 광학 탐침에서 반사된 광이 간섭을 일으켜 생긴 간섭광을 검출하는 제1광검출기;상기 투과된 광의 광량을 검출하는 제2광검출기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 7항에 있어서, 상기 광학 탐침은 광섬유로 이루어진 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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제 7항 또는 제 8항에 있어서, 상기 피검 물질을 통과한 광이 광학 탐침에서 반사되는 영역은 광원에서 조사되는 광의 파장보다 작은 크기를 가지고, 상기 광원 탐침에서 반사되는 광이 점광원으로 작용하도록 된 것을 특징으로 하는 광위상 측정용 근접장 주사 광학 현미경
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