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에이에프엠 캔틸레버와 극초단펄스 전압을 이용한 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법

  • 기술번호 : KST2015210397
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전도성 고분자를 중합하는데 있어 극초단펄스전압을 이용하여, 원자현미경(Atomic force microscope)(이하 AFM 이라 함) 캔틸레버 팁(cantilever tip) 주위 국소지역에만 전기장이 형성되도록 하여, 나노 사이즈의 전도성 고분자 와이어를 만드는, AFM 캔틸레버와 극초단펄스 전압을 이용한 전도성 고분자 나노 와이어 제조 방법에 관한 것이다.본 발명의 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법은, AFM Liquid cell(AFM 액체전지)에 AFM 캔틸레버 팁을 고정하고, AFM 캔틸레버 팁을 고정하는 스프링에 전선을 연결하는, AFM 캔틸레버 팁 고정단계; 극초단펄스 전압원의 양극을 AFM 샘플의 금 표면과 연결되어있는 전선에 연결하고, 음극은 AFM 캔틸레버 팁과 연결되어있는 전선에 연결하는, 극초단펄스 전압원 연결단계; AFM Liquid cell에 0.7 M 피롤 수용액과 0.002 M 황산 수용액을 섞은 수용액을 주입하는, 수용액 주입단계; AFM으로 이미지하여 금 표면에 아무것도 없는 것을 확인하는, 금표면 확인단계; AFM 캔틸레버 팁으로 이미지(image)를 하는 동안 극초단펄스 전압을 인가하는, 전압인가 단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) B01J 19/10 (2006.01)
CPC H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01) H01L 21/02603(2013.01)
출원번호/일자 1020130114484 (2013.09.26)
출원인 연세대학교 원주산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0117743 (2013.10.28) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2011-0100707 (2011.10.04)
관련 출원번호 1020110100707
심사청구여부/일자 Y (2016.09.28)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 원주산학협력단 대한민국 강원도 원주시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권태윤 대한민국 서울 노원구
2 남기환 대한민국 서울 서대문구
3 이규도 대한민국 경기 화성시
4 박진성 대한민국 서울 동대문구
5 이상우 대한민국 강원 원주시 단구로
6 윤대성 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 민혜정 대한민국 서울특별시 송파구 오금로 **, ***호(방이동, 잠실리시온)(스텔라국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 원주산학협력단 강원도 원주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2013.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2013-0873442-40
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.05.10 수리 (Accepted) 4-1-2016-5057268-74
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2016.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0940370-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0888626-45
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.12.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0930841-86
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2017-0190805-83
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2017-0300411-01
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0408109-15
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.04.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0408097-55
10 등록결정서
Decision to grant
2017.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0318957-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2017-5098886-10
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2018-5085255-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
AFM 샘플 퍽(puck)에 탄소 테이프를 부착하는, 탄소 테이프 부착단계;탄소 테이프 위에 금이 증착된 실리콘 웨이퍼를 부착하는, 실리콘 웨이퍼 부착단계;금 표면의 한 쪽 끝에 전선을 연결하여 극초단펄스전압을 입력할 수 있도록 하며, 금 표면에 전선을 고정하여 전기적으로 통할 수 있도록 하는, 금표면 전선 고정단계;AFM Liquid cell(AFM 액체전지)에 AFM 캔틸레버 팁을 고정하고, AFM 캔틸레버 팁을 고정하는 스프링에 전선을 연결하는, AFM 캔틸레버 팁 고정단계; 극초단펄스 전압원의 양극을 AFM 샘플의 금 표면과 연결되어있는 전선에 연결하고, 음극은 AFM 캔틸레버 팁과 연결되어있는 전선에 연결하는, 극초단펄스 전압원 연결단계;AFM Liquid cell에 0
2 2
열증착기 장비를 이용하여 진공이 1
3 3
제2항에 있어서,크롬 증착단계는, 열증착기 장비를 이용하여 진공이 1
4 4
제2항에 있어서,금 증착단계는, 크롬이 올라간 상태에서 금을 1 Å/s 속도로 1
5 5
제2항에 있어서,실리콘 웨이퍼 조각 생성단계는, 실리콘 웨이퍼에 금이 증착된 것을 다이아몬드 펜을 이용하여 1 cm x 1 cm 크기가 되도록 실리콘 웨이퍼를 조각내는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법
6 6
제1항에 있어서,금표면 전선 고정단계는, 금 표면과 전선은 은풀로 고정하는 것을 특징으로 하는 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법으로 제조된 다이오드 소자
10 10
제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법으로 제조된 FET 소자
11 11
제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법으로 제조된 FET 센서
12 12
제 1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 전도성 고분자 나노 와이어 제조방법으로 제조된 바이오 센서
지정국 정보가 없습니다
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1 KR101362099 KR 대한민국 FAMILY

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