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미세입자를 분류하는 분류기에 있어서,
서로 다른 위상을 공급하기 위한 다층 버스 바와 상기 다층 버스 바에 연결되는 전극 트랙을 구비하고, 상기 다층 버스 바를 이용하여 상기 전극 트랙의 면적을 넓혀 다량의 미세입자를 분류하며,
상기 전극 트랙은 다수의 미세 전극이 평행하게 배열된 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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제2항에 있어서, 상기 전극 트랙은 미세 전극 간의 간격에 전기장 구배를 형성하여, 상기 미세입자를 물리적 속성(크기, 전기적 속성)에 따라 특정 위치에 트랩시켜 분류하는 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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제3항에 있어서, 상기 전극 트랙은 모든 영역에 걸쳐 저항값을 일정하게 유지하여 동일한 입자가 같은 행에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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미세입자를 분류하는 분류기에 있어서,
서로 다른 위상을 공급하기 위한 제1 버스 바와 상기 서로 다른 위상 중 특정의 위상을 외부와 연결하기 위한 패드를 포함하는 위상 공급부와;
상기 서로 다른 위상 중 상기 특정의 위상을 제외한 위상을 외부와 연결하기 위한 패드와 제 2 버스 바를 구비하고, 전극 트랙을 이용하여 다량의 미세입자를 분리하는 입자 분류부; 및
상기 위상 공급부와 입자 분류부 사이에 게재되고, 상기 전극 트랙과 위상 공급부의 버스 바를 선택적으로 연결해주는 절연부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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제5항에 있어서, 상기 전극 트랙은,
다수의 미세 전극이 평행하게 배열된 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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제6항에 있어서, 상기 전극 트랙은 미세 전극 간의 간격에 전기장 구배를 형성하여, 상기 미세입자를 물리적 속성(크기, 전기적 속성)에 따라 특정 위치에 트랩시켜 분류하는 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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제7항에 있어서, 상기 전극 트랙은 모든 영역에 걸쳐 저항값을 일정하게 유지하여 동일한 입자가 같은 행에 위치하도록 하는 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기
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미세입자 분류기를 제조하는 방법에 있어서,
세정이 이루어진 유리 기판 위에 크롬(Cr)과 금(Au)을 전자빔 증착기를 이용해 소정 두께로 증착한 후, 사진공정을 통해 버스 바와 제1 위상 공급용 패드를 패터닝하고 습식 식각을 이용해 전극을 제외한 나머지 금속을 제거하는 제1공정과;
상기 제1공정이 이루어진 후 남은 금속 및 유리 가판 위에 플라스마 화학기상 증착장치(PECVD)를 이용하여 이산화규소(SiO2)와 질화 규소(silicon nitride) 및 이산화규소를 차례대로 증착하여 절연 층을 형성하는 제2공정과;
하부의 버스 바와 상부 전극 트랙을 선택적으로 연결하기 위해 반응성 이온식각장치(RIE)를 이용하여 상기 절연 층에 구멍을 형성하는 제3공정과;
상기 전자빔 증착기를 이용하여 크롬과 금을 순서대로 증착하고, 건식 식각(dry etching)하여 전극 트랙과 제2 위상 공급용 패드를 패터닝하는 제4공정과;
상기 절연층 위에 상기 PECVD를 이용하여 질화 규소를 소정 두께로 증착하여 상기 전극 트랙을 보호하는 제5공정을 통해 제조되는 것을 특징으로 하는 다층 버스 바를 이용한 미세입자 분류기 제조방법
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