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웨이퍼 연마장치

  • 기술번호 : KST2015211637
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼 연마시 방위각을 변경할 수 있도록 구조가 개선된 웨이퍼 연마장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 웨이퍼 연마장치는 상면에 웨이퍼가 배치되며, 진공압을 형성하여 상기 웨이퍼를 고정하는 진공척과, 상기 웨이퍼의 상방에 회전 가능하게 배치되며, 상기 웨이퍼를 연마하는 연마기기와, 상기 웨이퍼를 향하여 광을 조사하고, 상기 조사된 광을 분석하여 상기 웨이퍼의 방위각을 측정하는 방위각 측정기와, 상기 진공척에 연결되며, 상기 연마기기에 대하여 상기 웨이퍼가 기울여지도록 상기 진공척을 이동시키는 구동부를 포함한다.
Int. CL B24B 37/005 (2012.01) B24B 37/10 (2012.01)
CPC B24B 37/005(2013.01) B24B 37/005(2013.01)
출원번호/일자 1020130009914 (2013.01.29)
출원인 경기대학교 산학협력단, 주식회사 악셀
등록번호/일자 10-1554993-0000 (2015.09.16)
공개번호/일자 10-2014-0097716 (2014.08.07) 문서열기
공고번호/일자 (20150923) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.29)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 주식회사 악셀 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강진기 대한민국 경기도 화성시
2 김찬호 대한민국 서울 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 맹성재 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** (둔산동) 수협빌딩 *층(RnD특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 주식회사 악셀 대한민국 경상남도 진주시 소호로 **
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0086103-39
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2013.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2013-0097826-88
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5105476-10
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0104389-73
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027621-72
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027623-63
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0352951-82
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0352959-46
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2014.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0596052-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085476-57
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1040046-26
12 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2014-1165829-12
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1270396-74
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.01.29 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0100470-79
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0100457-85
16 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0372184-72
17 등록결정서
Decision to grant
2015.06.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0432382-48
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.10.01 수리 (Accepted) 4-1-2015-5130439-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상면에 웨이퍼가 배치되며, 진공압을 형성하여 상기 웨이퍼를 고정하는 진공척;상기 웨이퍼의 상방에 회전 가능하게 배치되며, 상기 웨이퍼를 연마하는 연마기기;상기 웨이퍼를 향하여 광을 조사하고, 상기 조사된 광을 분석하여 상기 웨이퍼의 방위각을 측정하는 방위각 측정기; 상기 진공척에 연결되며, 상기 방위각 측정기에서 상기 웨이퍼의 방위각을 측정한 결과 방위각이 틀어진 경우, 상기 웨이퍼의 방위각이 올바르게 조정되도록 상기 진공척을 기울이는 구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
2 2
제1항에 있어서,상기 웨이퍼의 플랫 존을 정렬하는 플랫 얼라이너를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.