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다공성 금속 지지체를 형성시키는 단계;상기 다공성 금속 지지체에 팔라듐 또는 팔라듐 합금을 스퍼터링하여 수소분리층을 형성시키는 단계; 및상기 팔라듐 합금을 스퍼터링한 다공성 금속 지지체를 저온 열처리하는 단계를 포함하고,기공 매립 및 평탄화를 위해 다공성 금속 지지체에 대한 표면 개질 전처리 공정없이, 스퍼터링 및 저온 열처리 공정으로 치밀 수소분리층을 형성시키는 것을 특징으로 하고,상기 스퍼터링은 300~600℃의 챔버 분위기 온도, 8
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제1항에 있어서, 상기 치밀 수소분리층의 형성은, 고기능성 스퍼터 장비를 이용한 고온, 고진공, 고전력 및 음바이어스 조건의 스퍼터링을 통해 유도되는 나노 시드층, 미세 나노 코팅 및 수직 및 수평막 성장에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 스퍼터링에 의해 다공성 금속 지지체 상에 주상정 구조와 조밀구조가 생성되며, 이들 구조의 조합으로 인해 수소 정제 및 분리 기능성이 증진되는 것을 특징으로 하는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 스퍼터링은 기판에 음의 바이어스를 인가한 상태에서 스퍼터 건과 기판 사이의 거리 5~20cm, 150~300W의 직류 전원, 10~30sccm의 아르곤 가스, 8
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제1항에 있어서, 상기 저온 열처리하는 단계는 수소 환원 분위기의 진공 가열로에서 760torr(상압)~1
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제1항에 있어서, 상기 수소분리막 제조에 필요한 저온 열처리 공정 없이, 수소 정제 및 분리 공정의 상용화 온도인 450~500℃의 상용화 공정 중에 수소분리층의 합금화 및 결정화가 자동적으로 형성되도록 하는 것을 더 포함하는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 다공성 금속 지지체가 5 마이크론 이상의 거대기공들을 갖는 경우, 표면 개질공정에 의해 거대 기공들을 매립한 후, 상기 제1항에 기재된 것과 동일한 방법을 수행하여 형성되는 것을 특징으로 하는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서, 다공성 금속 지지체의 금속은 니켈, 스테인리스강, 탄탈륨, 바나듐 및 티타늄으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것인 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 팔라듐 합금은 팔라듐-구리, 팔라듐-은, 팔라듐-금, 팔라듐-니켈, 팔라듐-루세늄 및 팔라듐-몰리브덴으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 것인 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 수소분리막의 제조방법은 수소분리막의 크기가 3인치 이상인 대면적에도 적용이 가능한 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서, 초박막 치밀 수소분리층, 미세결정 및 열린 계면 구조에 의해 수소 투과도를 극대화할 수 있는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 초박막 치밀 수소분리층 및 저온 열처리 공정에 의한 지지체 금속 성분의 확산억제를 통해 수소분리막의 내구성을 향상시킬 수 있는 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막의 제조방법
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제1항, 제3항, 제4항 및 제6항 내지 제14항 중 어느 한 항에 따른 수소분리막의 제조방법으로 제조된 초박막 치밀 수소분리층을 포함하는 수소분리막
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