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UV 마운팅 장치

  • 기술번호 : KST2015211699
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판의 평탄도가 향상되게 기판을 연마할 수 있도록 기판을 마운팅하는 UV 마운팅 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 UV 마운팅 장치는 기판이 안착될 수 있으며, 진공압을 인가하는 진공척과, 상기 진공척의 상방으로 필름을 공급하는 필름공급부와, 상기 진공척 상에 배치된 필름 위로 UV 경화제를 공급하는 경화제 공급부와, 상기 진공척의 상방으로 기판을 이송하는 이송암과, 상기 기판을 상기 진공척으로 가압하는 마운팅부와, 상기 UV 경화제로 자외선을 조사하는 UV 조사부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) H01L 33/00 (2010.01)
CPC H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01) H01L 21/6838(2013.01)
출원번호/일자 1020130165985 (2013.12.27)
출원인 경기대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1506854-0000 (2015.03.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.27)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강진기 대한민국 경기도 화성시
2 김찬호 대한민국 서울 도봉구
3 정주현 대한민국 경기 용인시 수지구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 경기대학교 산학협력단 대한민국 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1198935-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027623-63
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.03.04 수리 (Accepted) 4-1-2014-5027621-72
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.11 수리 (Accepted) 4-1-2014-0085476-57
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0073198-49
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0829292-03
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.02.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0108587-98
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-0108577-31
10 등록결정서
Decision to grant
2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0120014-88
11 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2015.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-0236661-93
12 보정요구서
Request for Amendment
2015.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0056739-71
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-0267350-14
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판이 안착될 수 있으며, 진공압을 인가하는 진공척;상기 진공척의 상방으로 필름을 공급하는 필름공급부;상기 진공척 상에 배치된 필름 위로 UV 경화제를 공급하는 경화제 공급부;상기 진공척의 상방으로 기판을 이송하는 이송암;상기 기판을 상기 진공척으로 가압하는 마운팅부; 및상기 UV 경화제로 자외선을 조사하는 UV 조사부;를 포함하며,상기 필름공급부는, 상기 필름이 권취되어 있는 공급롤과, 상기 필름이 상기 진공척으로 이송되도록 상기 필름을 가이드하는 가이드롤과, 상기 필름을 커팅하는 커팅기기를 포함하며,상기 커팅기기는, 수직 방향으로 승강가능하게 설치되며 수직 방향을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 제1회전바와, 상기 제1회전바의 단부에 수직 방향을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 제2회전바와, 상기 제2회전바의 단부에 결합되며 상기 필름에 접촉되어 상기 필름을 커팅하는 커팅부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 마운팅 장치
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제1항에 있어서,상기 진공척은 자외선이 투과될 수 있는 소재로 이루어지며,상기 UV 조사부는 상기 진공척의 하방에 배치되어 상방향으로 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 UV 마운팅 장치
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4 4
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.