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잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조

  • 기술번호 : KST2015212052
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  • 전화번호 :
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압전 막의 잔류 응력을 효과적으로 측정할 수 있게 하는 잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조가 개시되어 있다. 적층 압전 박막 구조는 잔류 응력 측정을 위한 적층 압전 박막 구조에 있어서, 기판 상의 중심부에 형성되는 미러 반사 면; 및 상기 미러 반사 면의 측면으로부터 상기 기판의 외곽으로 형성되며, 소정의 폭 및 소정의 길이를 갖는 하나 이상의 빔을 포함한다.
Int. CL G01L 5/00 (2020.01.01) G01L 1/00 (2006.01.01)
CPC G01L 1/00(2013.01)
출원번호/일자 1020110093220 (2011.09.16)
출원인 동명대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1262110-0000 (2013.05.02)
공개번호/일자 10-2013-0029861 (2013.03.26) 문서열기
공고번호/일자 (20130514) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.16)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준협 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김희연 대한민국 대전광역시 유성구
3 남현석 대한민국 서울특별시 성북구
4 오영련 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 부산광역시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0719664-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.11.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2012-0090781-22
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0758459-18
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0128012-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0128019-76
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0010131-41
8 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0295526-21
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2020-5076870-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
잔류 응력 측정을 위한 적층 압전 박막 구조에 있어서,기판 상의 중심부에 형성되는 미러 반사 면; 및상기 미러 반사 면의 측면으로부터 상기 기판의 외곽으로 형성되며, 소정의 폭 및 소정의 길이를 갖는 하나 이상의 빔을 포함하고, 상기 하나 이상의 빔은 상기 미러 반사 면으로부터 상기 기판의 바깥으로 향하는 나선 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 미러 반사 면은 원 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 빔은 바 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 빔은 소정의 회전 반경을 가지며, 상기 미러 반사 면으로부터 상기 기판의 바깥으로 향하는 나선 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
6 6
제 1 항 내지 제 3 항, 및 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 미러 반사 면과 상기 하나 이상의 나선형 빔은 동일한 층 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 미러 반사 면과 상기 하나 이상의 나선형 빔의 층 구조는 SiNx/SiOx/Pt/PZT/Pt를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 미러 반사 면과 상기 하나 이상의 나선형 빔의 층 구조는 SiNx/SiOx/Pt/PZT/Pt/SiOx를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
9 9
제 6 항에 있어서, 상기 미러 반사 면의 층 구조는 SiN/Ox/PPP/Ox를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
10 10
제 6 항에 있어서, 상기 미러 반사 면의 층 구조는 SiN/Al를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 하나 이상의 빔의 층 구조는 SiN/Ox/PPP를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
12 12
제 10 항에 있어서, 상기 하나 이상의 빔의 층 구조는 SiN/Ox/PPP/Ox를 포함하는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 적층 압전 박막 구조
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.