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잔류 응력 측정용 시소타입 압전 박막 구조

  • 기술번호 : KST2015212171
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요약 본 발명은 압전 박막의 굽힘 성분의 잔류 응력을 효과적으로 측정할 수 있도록 압전 박막의 굽힘 정도를 최대화하는 시소 타입 압전 박막 구조에 관한 것이다.본 발명에 따르는 잔류 응력 측정용 시소타입 압전 박막 구조는, 제 1 압전 박막부;제 1 박막부의 일단부에 연결되게 형성되는 제 2 압전 박막부; 및상기 제 1 압전 박막부와 제 2 압전 박막부에 일단이 연결되고 상기 제 1 압전 박막부 및 제 2 압전 박막부에 대해 종방향으로 막대형태로 형성되는 제 3 압전 박막부를 포함하는 것을 구성적 특징으로 한다.
Int. CL G01L 1/16 (2006.01.01) H01L 41/09 (2006.01.01) H01L 41/083 (2006.01.01) H01L 41/187 (2006.01.01)
CPC G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01)
출원번호/일자 1020120055851 (2012.05.25)
출원인 동명대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1345580-0000 (2013.12.20)
공개번호/일자 10-2013-0131905 (2013.12.04) 문서열기
공고번호/일자 (20131230) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.25)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준협 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김윤재 대한민국 서울특별시 강남구
3 김희연 대한민국 대전광역시 유성구
4 남현석 대한민국 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0419774-21
2 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0119465-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0010131-41
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0451460-22
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0783440-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0783428-77
7 등록결정서
Decision to grant
2013.12.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0881467-60
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2020-5076870-68
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번호 청구항
1 1
기판상에 고정되는 제 1 압전 박막부;제 1 박막부의 일단부에 연결되고, 기판상에 고정되는 제 2 압전 박막부; 및상기 제 1 압전 박막부와 제 2 압전 박막부에 일단이 연결되고, 상기 제 1 압전 박막부 및 제 2 압전 박막부에 대해 종방향으로 막대형태로 형성되는 제 3 압전 박막부를 포함하고상기 제 3 압전 박막부는 실리콘 기판상에 백금(Pt)층, PZT(Lead Zirconium Titanite, 지르콘 티탄산 납) 층을 차례로 적층한 후 상기 실리콘 기판을 제거하여 형성되는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 시소타입 압전 박막
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제 1 압전 박막부 및 상기 제 2 압전 박막부는 실리콘 기판상에 백금층, PZT 층이 차례로 적층되어, 기판상에 고정되는 것을 특징으로 하는잔류 응력 측정용 시소타입 압전 박막
3 3
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국연구재단 기초연구사업(중견연구자지원사업-핵심연구) 나노/바이오 엑츄에이터용 압전막의 복합 신뢰성 연구