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수직형 미세 접촉 프로브

  • 기술번호 : KST2015212179
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요약 본 발명은 프로브 카드 및 검사 대상체의 전극패드의 접촉손상을 방지하면서 전체적으로 안정적인 접촉을 구현할 수 있는 수직형 미세 접촉 프로브를 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 상측단에 배치되어 프로브 카드용 기판에 고정된 연결부와, 하측단에 배치되어 검사 대상체의 접촉단자에 수직으로 접촉되는 팁과, 상기 연결부와 상기 팁을 연결하고, 수직방향의 탄성력을 갖는 완충부를 구비하고, 상기 완충부는, 상기 연결부와 상기 팁을 연결하는 몸체와, 상기 몸체를 중심으로 'H'자 형상의 단면을 갖는 복수 개의 단위 구조체를 구비한 프로브를 제공한다. 수직형, 프로브, 카드, 팁, 마이크로, 반도체, 완충부
Int. CL G01R 1/067 (2006.01.01) G01R 31/26 (2014.01.01)
CPC G01R 1/06716(2013.01) G01R 1/06716(2013.01)
출원번호/일자 1020090079641 (2009.08.27)
출원인 동명대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1087947-0000 (2011.11.22)
공개번호/일자 10-2011-0022185 (2011.03.07) 문서열기
공고번호/일자 (20111128) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.08.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 대한민국 부산광역시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박준협 대한민국 부산광역시 남구
2 신명수 대한민국 부산광역시 남구
3 서정윤 대한민국 부산광역시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 홍순우 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 (서초동)(라온국제특허법률사무소)
2 김해중 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)
3 윤석운 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 영진벤처빌딩 *층 라온국제특허법률사무소 (서초동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동명대학교산학협력단 대한민국 부산광역시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0525826-23
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0155167-14
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0376119-69
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0376111-05
5 등록결정서
Decision to grant
2011.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0679409-14
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2013-0010131-41
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2020-5076870-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상측단에 배치되어 프로브 카드용 기판에 고정된 연결부; 하측단에 배치되어 검사 대상체의 접촉단자에 수직으로 접촉되는 팁; 및 상기 연결부와 상기 팁을 연결하고, 수직방향의 탄성력을 갖는 완충부를 구비하고, 상기 완충부는, 상기 연결부와 상기 팁을 연결하는 몸체; 및 상기 몸체를 중심으로 'H'자 형상의 단면을 갖는 복수 개의 단위 구조체 를 구비한 프로브
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수 개의 단위 구조체는, 상기 몸체의 길이방향을 따라 직렬로 일정 간격으로 이격되어 형성된 프로브
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 몸체와 상기 구조체는 일체형으로 단일 구조체를 형성하는 프로브
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 완충부는 압축시 수직 거동을 하는 프로브
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 팁은 상기 단위 구조체의 중앙부로부터 상기 검사 대상체의 접촉단자 방향으로 돌출된 프로브
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 검사 대상체의 접촉단자는 반도체 칩의 전극 패드인 프로브
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.