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소프트 리소그래피를 이용하여 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법

  • 기술번호 : KST2015212453
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 소프트 리소그래피를 이용하여 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법은, PDMS 스탬프를 이용하여 금 표면에 미세접촉인쇄하고, 이에 의해 패턴화된 금 표면상의 패턴에 표면 개시 중합을 이용하여 PEGMA를 선택적으로 중합함으로써, 그래프트된 고분자의 안정성을 향상시키고, 금 표면 위에 고분자의 밀도를 증가시킨다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) H01L 21/312 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020100034625 (2010.04.15)
출원인 한남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1184161-0000 (2012.09.12)
공개번호/일자 10-2011-0115244 (2011.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20120918) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이동현 대한민국 경상남도 진주시 선학산길 *
2 명태식 대한민국 대전광역시 유성구
3 윤국로 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이룸 대한민국 서울시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0239517-68
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.01.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0016643-82
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2011-5173143-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0757778-54
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0140987-84
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0227656-49
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0227657-95
9 등록결정서
Decision to grant
2012.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0494637-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.09.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-5125337-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046930-79
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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(가) PDMS 스탬프에 11-머캅토-1-운데칸올 용액을 증착시키는 단계;(나) 상기 증착된 PDMS 스탬프를 금 표면에 접촉시키고 100~300g/㎠의 압력을 가한 후, PDMS 스탬프와 금 표면을 분리하여 금 표면에 패턴을 형성하는 단계;(다) 상기 분리된 금 표면을 1-도데칸티올 용액에 담구어 패턴되지 않은 면을 처리하는 단계;(라) 상기 (다) 단계를 통해 처리된 금 표면을 유기용매 하에서 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES)과 반응시켜 1차 표면 개질하는 단계;(마) 상기 1차 표면 개질된 금 표면을 유기용매 하에서 3-클로로프로판산, 1,3-디시클로헥실카보디이미드(DCC) 및 4-디메틸아미노피리딘(DMAP)과 반응시켜 2차 표면 개질하는 단계; 및(바) 상기 2차 표면 개질된 금 표면을 폴리(에틸렌글리콜)메타크릴레이트(PEGMA), N,N-디메틸아미노피리딘, 2,2-비피리딘 및 염화구리(Ⅰ)와 반응시켜 금 표면의 패턴에 PEGMA를 중합하는 단계;를 포함하는 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 PDMS 스탬프는 실리콘 엘라스토머 기제와 실리콘 엘라스토머 경화제를 10:0
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제 1항에 있어서, 상기 (가)단계에서 증착과정은 스핀코터 또는 면봉을 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법
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제 3항에 있어서, 상기 증착과정이 스핀코터를 이용하는 경우, 스핀코터의 초당 회전수는 100~150, 스핀시간은 1~2분 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는,패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법
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제 1항에 있어서, 상기 (라)단계 및 (마)단계에서 유기용매는 톨루엔, 디클로로메탄, 디메틸설폭시드(DMSO), 디메틸포름아미드(DMF), 테트라히드로퓨란(THF), 아세톤, 디에틸에테르, 에틸아세테이트 및 헥산으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는, 패턴화된 금 표면의 표면 개질 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.