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대상물(1)이 상부에 안착되는 워크 스테이지(100);상기 워크 스테이지(100) 상부에 배치되어 상기 워크 스테이지(100)에 안착된 대상물(1)의 일면에 직선간섭무늬를 조사하는 제1조사부(200);상기 워크 스테이지(100) 상부에 배치되고, 상기 제1조사부(200)와 이격배치되어 상기 워크 스테이지(100)에 안착된 대상물(1)의 타면에 직선간섭무늬를 조사하는 제2조사부(300); 상기 워크 스테이지(100)의 상부에 배치되어 대상물(1)에 조사된 변형된 무늬를 센싱하는 센싱부(400); 및 대상물이 안착되지 않은 상태에서 상기 워크 스테이지(100)의 상부에 형성된 기준용 직선간섭무늬를 상기 센싱부(400)에서 센싱한 상기 변형된 무늬와 겹쳐서 모아레 무늬를 만드는 영상처리부(500)를 포함하여 이루어지고, 상기 제1조사부(200)와 제2조사부(300)에서 조사되는 직선간섭무늬는 레이저(210,310)를 광원으로 하고,상기 제1조사부(200)와 제2조사부(300)는 하부가 개방된 하우징(220)과, 상기 하우징(220)의 내부에 상기 하우징(220)의 상부 일측을 통해 상기 레이저(210, 310)에서 조사된 빛을 확산시키는 광확산부(230)가 배치되고,상기 하우징(220)의 내부에는 상기 광확산부(230)에서 확산된 빛을 상기 하우징(220)의 하부로 확대되어 평행화시키는 조사렌즈(240)가 배치되고, 상기 조사렌즈(240)의 하부에는 상기 조사렌즈(240)에서 평행 확대된 빛을 반사시키는 프리즘부(250)가 배치되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제1항에 있어서, 상기 광확산부(230)는 일단이 상기 하우징(220)의 상부 일측을 관통하여 배치되고, 타단이 상기 레이저(210, 310)와 연결되는 광섬유로 이루어져, 상기 레이저(210, 310)에서 조사된 빛이 상기 광섬유를 통해 상기 하우징(220)의 내부에서 확산되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제1항에 있어서, 상기 프리즘부(250)는 단면이 제1변(a), 제2변(b) 및 제3변(c)을 갖고, 상기 제2변(b)이 빗변을 형성하는 직각삼각형 형상으로 형성된 제1프리즘(251)과, 단면이 제4변(d), 제5변(e) 및 제6변(f)을 갖는 삼각형 형상으로 형성되고, 상기 제5변(e)과 상기 제6변(e)이 이루는 각도가 90도를 초과하는 제2프리즘(253)으로 이루어지고, 상기 제1프리즘(251)의 단면 중 제2변(b)을 형성하는 면과, 상기 제2프리즘(253)의 제4변(d)을 형성하는 면이 상호 맞닿는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제5항에 있어서, 상기 제1프리즘(251)의 상기 제2변(b)을 형성하는 면에는 75 ~ 95%의 반사율을 갖는 반사면(rs)이 배치되고, 상기 제1프리즘(251)의 상기 제1변(a)을 형성하는 면에는 상기 조사렌즈(240)에서 평행 확대된 빛이 입사되고, 상기 제1변(a)에는 무반사면(nrs)이 형성되며,상기 제1프리즘(251)의 상기 제3변(c)을 형성하는 면에는 거울면(ms)이 배치되고,상기 제2프리즘(253)의 상기 제5변(e)을 형성하는 면에는 거울면(ms)이 배치되며,상기 제2프리즘(253)의 상기 제6변(f)을 형성하는 면은 상기 제1프리즘(251)과 제2프리즘(253)을 통과한 빛을 대상물(1)로 조사시키며, 상기 제6변(f)을 형성하는 면에는 무반사면(nrs)이 형성되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제6항에 있어서, 상기 제5변(e)을 형성하는 면을 무반사면으로 형성하고, 상기 거울면(ms)과 상기 하우징(220) 사이에는 압전트랜듀서(piezoelectric transducer, 260)가 배치되어 상기 압전트랜듀서(260)에 전류가 인가되는 경우 상기 제5변(e)을 형성하는 면과 하우징 사이에 배치된 거울면(ms)을 이동시켜 상기 모아레 무늬의 간격을 변화시키는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제5항 또는 제7항에 있어서, 상기 제1프리즘(251)과 상기 하우징(220) 및 제2프리즘(253)과 상기 하우징(220) 사이에는 압전트랜듀서(piezoelectric transducer, 260)가 배치되어 상기 압전트랜듀서(260)에 전류가 인가되는 경우 상기 제1프리즘(251)과 제2프리즘(253)을 이동시켜 상기 모아레 무늬를 이동시키는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제1항에 있어서, 상기 센싱부(400)는 대상물(1)에 조사된 직선간섭무늬를 촬상하는 이미지센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제1항에 있어서, 상기 센싱부(400)는 이동가능하게 배치되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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제1항에 있어서, 상기 센싱부(400)는 복수 개가 배치되는 것을 특징으로 하는 간섭계를 이용한 모아레 무늬 계측시스템
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