요약 |
본 발명은 저온 소결용 마이크로파 유전체 세라믹스 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 유전율 및 품질계수가 높고, 공진 주파수의 온도계수가 낮은 우수한 마이크로파 유전특성을 가지면서도, 저온소결이 가능하여 고주파 소자의 적층화에 적합한 유전체 세라믹스를 개발하였다. 즉, CaTi1/2(Fe1/2Nb1/2)1/2O3에 저온 소결용 첨가제로서 B2O3를 1 ~ 5wt% 첨가한 조성으로 하여, 먼저 CaCO3, TiO2, Fe2O3, Nb2O5의 시료를 혼합, 분쇄하고 건조 및 하소한 후, 이에 B2O3를 첨가하여 다시 혼합, 분쇄하고 건조하였다. 또한, 상기 건조된 시료를 성형하여 875 ~ 925℃의 저온에서 2시간 동안 소결하였다. 그리고, 유전체 원주 공진기법을 이용하여 마이크로파 유전특성을 측정한 결과, B2O3를 3wt% 첨가하여 900℃에서 2시간 소결하였을 때, 유전율이 52.3, Q×f0가 2932GHz, 공진 주파수의 온도계수가 +13.1ppm/℃인 우수한 마이크로파 유전특성값을 얻었다. 마이크로파, 유전체, 세라믹, Ca, Ti, Fe, Nb, B, 저온소결, 적층, 유전율, 품질계수, 온도계수, 공진 주파수
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