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구형 실리카 나노 입자의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015212692
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 졸-겔법을 이용하여 다양한 크기의 구형 실리카 입자를 선택적으로 제조할 수 있는 방법으로 실리카의 원료로 실리콘 알콕사이드(Silicon Alkoxide), 용매로는 알콜, 촉매로 암모니아수 그리고 물을 사용하여 반응물을 가수분해 및 축중합 반응을 통해 다양한 크기의 구형 실리카 나노 입자를 합성하였다. 합성된 실리카 나노입자는 실리콘 알콕사이드 및 알콜의 종류, 반응물/물/알콜의 비율, 반응물 농도, 반응온도에 따라 10~800㎚ 범위에서 조절 가능하였다. 이러한 구형의 실리카 나노입자는 실리콘 웨이퍼 CMP(Chemical Mechanical Polishing)용으로 평탄화를 향상시킬 수 있는 소재로 매우 유용하게 적용될 것으로 기대된다.구형 실리카, 졸-겔법, 실리콘 알콕사이드, 입자크기 조절
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) C01B 33/14 (2000.01) C01B 33/18 (2000.01)
CPC C01B 33/18(2013.01) C01B 33/18(2013.01) C01B 33/18(2013.01)
출원번호/일자 1020050095780 (2005.10.12)
출원인 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
등록번호/일자 10-0759841-0000 (2007.09.12)
공개번호/일자 10-2007-0040428 (2007.04.17) 문서열기
공고번호/일자 (20070918) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) 대한민국 서울특별시 강남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유중환 대한민국 서울 금천구
2 김현정 대한민국 경기 용인시
3 이동채 대한민국 서울 서초구
4 박석준 대한민국 충북 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노완구 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **-*, *층 (서초동, 썬라이즈빌딩)(미로텍특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0575059-88
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2005.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2005-0586575-83
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0573690-13
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0881738-50
5 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2006.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0933280-05
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2007-0075434-82
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0172107-65
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.03.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0189897-92
9 의견서
Written Opinion		 2007.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0189896-46
10 등록결정서
Decision to grant		 2007.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0379970-20
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2008-5187618-45
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번호 청구항
1 1
졸-겔법을 이용하여 입자크기 10~800nm의 구형실키라 나노입자를 제조하는 방법에 있어서, 일정 비율의 실리콘옥사이드를 알콜에 녹인 제1용액과, 촉매인 암모니아수와 물 및 알콜을 혼합한 제2용액을 각각 제조하고, 상기 두용액을 혼합하여 가수분해 및 축중합반응시키는 것을 포함하며, 반응온도를 15~80℃ 범위내에서, 암모니아수/실리콘알콕사이드 몰비를 0
2 2
제 1항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드는 테트라메틸 오르소실리케이트(TMOS), 테트라에틸 오르소실리케이트(TEOS), 테트라프로필 오르소실리케이트(TPOS) 또는 테트라부틸 오르소실리케이트(TBOS)로 이루어진 군에서 선택되며, 상기 알콜은 메탄올, 에탄올, 프로판올 또는 부탄올로 이루어진 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 졸-겔법을 이용한 구형 실리카 나노 입자의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 실리콘 알콕사이드의 농도는 0
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.