| 요약 |
본 발명은 열전 모듈(thermoelectric module)용 ITO/Ag+ITO/Ag 삼중 복합 전극의 제조 방법으로서, (a) ITO 페이스트(paste)를 스크린 인쇄한 후 2℃/분의 속도로 350℃까지 열처리하고 건조하여, ITO 후막을 형성시키는 단계; (b) ITO 후막 위에서 ITO 페이스트와 Ag 페이스트를 2:2.5∼2:3.5의 비율로 혼합한 Ag+ITO 페이스트를 스크린 인쇄한 후 2℃/분의 속도로 350℃까지 열처리하고 건조하여, Ag+ITO 후막을 적층시키는 단계; 및 (c) Ag+ITO 후막 위에서 Ag 페이스트를 스크린 인쇄한 후 2℃/분의 속도로 600℃까지 열처리하고 건조하여, Ag 후막을 적층시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법을 제공한다. 또한, 본 발명은 ITO 후막, Ag와 ITO의 혼합 후막, 및 Ag 후막이 차례로 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 열전 모듈용 삼중 복합 전극을 제공한다. 본 발명에 따른 열전 모듈용 삼중 복합 전극은 N형 열전 소자(N형 반도체 소자)와 금속 전극 사이의 접촉시 저온부에 형성되는 쇼트키 접촉(schottky contact)을 오믹 접촉(ohmic contact)으로 변환시킴으로써(즉, 접촉 저항을 저하시킴으로써) 열전 모듈의 효율을 개선하는 데 유용하다. 또한, 본 발명은 상기 열전 모듈용 ITO/Ag+ITO/Ag 삼중 복합 전극과 N형 열전 소자 (ZnO)mIn2O3(m은 3∼33의 정수임)을 포함하는 것을 특징으로 하는 열전 모듈을 제공한다.열전 모듈(thermoelectric module), 삼중 복합 전극, N형 열전 소자, ITO(indium tin oxide, 산화인듐주석) 후막, Ag와 ITO의 혼합 후막, Ag 후막, 쇼트키 접촉(schottky contact), 오믹 접촉(ohmic contact), 전기전도도, 저항.
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