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저온 동시소성 세라믹스 기판상에 감광성 유기물과 전극분말로 이루어지는 감광성 전극 페이스트를 도포하여 미세전극을 형성하는 미세전극의 제조방법에 있어서,상기 기판상에 상기 감광성 전극 페이스트의 감광성 유기물과 동일한 조성의 감광성 유기물을 도포한 후 이를 노광하여 경화된 유기 버퍼층을 형성하는 단계와;상기 유기 버퍼층 상에 상기 감광성 전극 페이스트를 도포한 후 이를 노광 및 현상하여 패터닝된 전극층을 형성하는 단계와;상기 기판과 상기 유기 버퍼층 및 상기 전극층을 동시소성하여 상기 유기 버퍼층을 제거하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유기 버퍼층의 감광성 유기물은 상기 감광성 전극 페이스트의 감광성 유기물에 포함되는 유기용매의 양에 비해 30 내지 75 wt%의 유기용매를 더 포함하는 조성으로 되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 유기 버퍼층의 두께는 2 내지 5 ㎛로 되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 감광성 유기물은 바인더 폴리머와 모노머와 광개시제와 분산제와 침강방지제를 포함하고 이에 UV 흡수제 및 가소제의 적어도 하나가 첨가되는 조성으로 되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 바인더 폴리머는 전이온도(Tg)가 80℃인 아크릴계 수지와 123℃인 아크릴계 수지가 1:1 내지 1:3의 중량비로 혼합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 바인더 폴리머는 상기 감광성 전극 페이스트 총량의 1 내지 10 wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 모노머는 상기 감광성 전극 페이스트 총량의 3 내지 8 wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 광개시제는 상기 감광성 전극 페이스트 고형분 총량의 1 내지 3 wt%로 포함되는 것을 특징으로 하는 미세전극의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 감광성 전극 페이스트 고형분 총량에 대비하여, 상기 UV 흡수제는 0
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