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튜브형 재료 함유 증착박막 형성방법 및 그 생성물

  • 기술번호 : KST2015212830
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는 탄소 나노튜브 (CNT)와 같은 튜브형 재료를 에어로졸화하여 고속으로 기판에 충돌시킴으로써 기존에는 얻을 수 없었던 새로운 형태의 튜브형 재료의 조각들로 이루어진 박막을 형성하는 방법에 관한 것으로, 탄소 원자 당 여유전자들을 많이 보유하고 있어서 전계 방출 소자에 유리한 박막을 얻을 수 있으며 또한 기존에 화학 기상증착방법(Chemical vapor deposition)에 의해 튜브형 재료의 박막을 형성한 이후 필요로 하는 절단 공정이나 화학적-오프닝 공정을 생략할 수 있어 경제적인 효과가 있는 발명이다. 탄소나노튜브, 박막
Int. CL C23C 4/02 (2011.01) C23C 4/00 (2011.01) C23C 24/04 (2011.01)
CPC C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01)
출원번호/일자 1020070002020 (2007.01.08)
출원인 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원)
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0065079 (2008.07.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.01.08)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국산업기술평가원(관리부서:요업기술원) 대한민국 서울특별시 강남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울 동작구
2 류도형 대한민국 서울 금천구
3 공은배 대한민국 부산 사하구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고영회 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, ****호(서초동, 서초신성미소시티)(성창특허법률사무소)
2 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0017124-95
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.12.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0660657-69
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2008-0092648-23
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0158564-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.03.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0158568-05
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2008.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2008-0312617-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0353155-73
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.09.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0620251-08
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690256-00
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2008.11.03 수리 (Accepted) 1-1-2008-0760630-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2008-5187618-45
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0826579-32
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.12.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0826578-97
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2009.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0122992-44
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번호 청구항
1 1
속이 비어있는 튜브형의 재료를 에어로졸화하는 단계; 및상기 생성된 에어로졸을 적어도 30 m/s 이상의 속도로 모재에 충돌시켜 박막을 형성하는 단계를 포함하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
2 2
제 1 항에 있어서, 튜브형 재료로는 탄소 나노튜브 또는 TiO2 나노튜브를 사용하는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 튜브형 재료로는 소량의 불순물이 도핑된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
4 4
제 1항에 있어서, 튜브형 재료로는 튜브형 재료와는 다른 성분을 적어도 1종 이상 더 포함하는 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
5 5
제 1항에 있어서, 에어로졸화 단계는 튜브형 재료 이외의 다른 성분을 적어도 1종 이상 더 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
6 6
제 1항에 있어서, 에어로졸화 단계는 튜브형 재료 이외의 입자형 물질을 더 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
7 7
제 1항에 있어서, 박막 형성 단계는 일부 화학반응을 유도하기 위한 반응성 가스 도입을 포함하는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
8 8
제 1항에 있어서, 튜브 재료를 에어로졸화시키는 단계 이전에, 튜브 재료를 물리적으로 변형시키거나, 화학적으로 전처리하여 표면개질하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 박막의 형성방법
9 9
(a) 별도의 바인더 수지를 포함하지 않고, (b) 적어도 일 끝단이 열리고 속이 비어 있는 다수의 튜브형 재료 조각을 포함하며, (c) 속이 비어 있는 튜브형 재료 조각의 열리지 않은 일 끝단은 기판으로부터 성장되어 고정된 형태를 갖지 않는 조건을 만족하는 튜브형 재료 함유 증착박막
10 10
제 9 항에 있어서, 증착층 수가 1층 내지 5층인 것임을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 증착박막
11 11
제 9 항에 있어서, 튜브형 재료는 탄소나노튜브 또는 TiO2 나노튜브인 것임을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 증착박막
12 12
제 9 항에 있어서, 튜브형 재료 이외의 다른 성분이 적어도 한 종류 이상 포함된 것임을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 증착박막
13 13
제 9 항에 있어서, 튜브형 재료 이외의 입자형태의 성분이 포함된 것을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 증착박막
14 14
제 9 항에 있어서, 튜브형 재료는 화학적으로 표면개질된 것임을 특징으로 하는 튜브형 재료 함유 증착박막
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR100846148 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2008084951 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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국가 R&D 정보가 없습니다.