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광학시스템 및 그 광학시스템에서 얻은 영상을 이용한입체형상측정방법

  • 기술번호 : KST2015213152
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광학시스템 및 그 광학시스템에서 얻은 영상을 이용한 입체형상측정방법에 관한 것이다. 본 발명의 시스템은 광원을 포함하는 조명부로부터의 출사광을 기준면과 측정면에서 반사시켜 간섭무늬를 획득하기 위한 광학시스템에 있어서, 기준면을 이동시키기위한 위상이송부와, 조명부로부터의 광을 측정면과 기준면에서 반사시켜 합성간섭광을 생성하기 위한 광간섭부와, 광간섭부로부터의 합성간섭광을 복수개의 서로 다른 파장으로 분할하여 출력하는 광분할부, 및 광분할된 서로 다른 파장의 광을 입력받아 복수개의 광간섭무늬를 이미지로 획득하기 위한 이미지획득부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명의 장치는 정밀한 반도체나 미소 정밀부품등의 입체형상을 측정할 때 결함여부를 정확하게 검사할 수 있는 효과를 제공한다.입체형상측정, 간섭계, 간섭무늬
Int. CL G01B 11/25 (2006.01.01) G01B 9/02 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 21/45 (2006.01.01)
CPC G01B 11/25(2013.01) G01B 11/25(2013.01) G01B 11/25(2013.01) G01B 11/25(2013.01) G01B 11/25(2013.01)
출원번호/일자 1020060098095 (2006.10.09)
출원인 선문대학교 산학협력단, (주) 인텍플러스
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0032680 (2008.04.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.10.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시
2 (주) 인텍플러스 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박윤창 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 공인복 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로**길*-**, 대송빌딩 *층(특허법인 대한(서초분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2006-0728680-01
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 대리인사임신고서
Notification of resignation of agent
2007.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2007-0292049-96
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0028673-49
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0489364-74
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0799842-88
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0799839-40
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0120206-16
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2008.04.02 보정각하 (Rejection of amendment) 7-1-2008-0013511-98
10 보정각하결정서
Decision of Rejection for Amendment
2008.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0253909-79
11 심사전치출원의 심사결과통지서
Notice of Result of Reexamination
2008.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0253916-99
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2008.06.03 반려 (Return) 7-1-2008-0023798-52
13 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2008.06.18 수리 (Accepted) 7-8-2008-0019494-46
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2010-5237800-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.16 수리 (Accepted) 4-1-2010-5237775-60
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2017-0015082-12
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원을 포함하는 조명부로부터의 출사광을 기준면과 측정면에서 반사시켜 간섭무늬를 획득하기 위한 광학시스템에 있어서,상기 기준면을 이동시키기위한 위상이송부;상기 조명부로부터의 광을 측정면과 기준면에서 반사시켜 합성간섭광을 생성하기 위한 광간섭부;상기 광간섭부로부터의 합성간섭광을 복수개의 서로 다른 파장으로 분할하여 출력하는 광분할부; 및 상기 광분할된 서로 다른 파장의 광을 입력받아 복수개의 광간섭무늬를 이미지로 획득하기 위한 이미지획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학시스템
2 2
제 1항에 있어서, 상기 광간섭부는 상기 조명부로부터 입사광을 기준면과 측정물체의 측정면으로 분리하는 빔스플리터, 및상기 기준면과 측정면으로부터의 반사광을 합성하여 합성간섭광으로 출사하는 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학시스템
3 3
제 2항에 있어서, 상기 광분할부는상기 광간섭부로부터의 합성간섭광을 통과하여 출사하는 렌즈;상기 영상획득부로 상기 합성간섭광을 반사 및 투과하는 복수개의 빔스플리터; 및상기 영상획득부의 전단에 대응되게 위치하며 서로 다른 파장의 광만을 통과시키는 복수개의 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학시스템
4 4
제 3항에 있어서, 영상획득부는 적어도 하나 이상의 카메라로 구성된 것을 특징으로 하는 광학시스템
5 5
제 4항에 있어서,상기 필터는 상기 영상획득부의 카메라의 개수에 대응하여 서로 다른 파장의 합성간선광을 필터링하도록 상기 카메라의 전단에 배치되는 것을 특징으로 하는 광학시스템
6 6
픽셀들의 어레이를 갖춘 카메라에 획득된 이미지로 입체형상을 측정하기 위한 방법에 있어서, 복수개의 서로 다른 파장으로 형성된 복수개의 광간섭무늬를 획득하는 제 1단계;상기 획득된 복수개의 광간섭무늬의 위상을 계산하는 제 2단계;상기 대응하는 픽셀에 대한 광간섭무늬 위상을 이용해 맥놀이 위상을 계산하는 제 3단계;상기 맥놀이 위상의 위상차수를 계산하는 제 4단계; 및상기 광간섭무늬를 획득한 파장과 상기 맥놀이위상 및 위상차수를 이용하여 각 픽셀에 대한 높이값을 계산하는 제 5단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 입체형상측정방법
7 7
제 6항에 있어서,상기 제 2단계는 상기 카메라로부터 획득된 복수개의 광간섭무늬의 각 픽셀에 대해 적어도 3개의 세기값을 이용하여 각 픽셀의 광간섭무늬의 위상을 계산하는 것을 특징으로 하는 입체형상측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.