요약 |
본 발명은 광원을 포함하는 조명부로부터의 출사광을 기준면과 측정면에서 반사시켜 간섭무늬를 획득하기 위한 광학시스템에 있어서, 상기 기준면을 이동시키기 위한 위상이송부; 상기 조명부로부터의 광을 측정면과 기준면에서 반사시켜 합성간섭광을 생성하기 위한 광간섭부; 상기 광간섭부로부터의 합성간섭광을 복수개의 서로 다른 파장으로 분할하여 출력하는 광분할부; 및 상기 광분할된 서로 다른 파장의 광을 입력받아 복수개의 광간섭무늬를 이미지로 획득하기 위한 이미지획득부를 포함하되, 상기 광간섭부는 상기 조명부로부터 입사광을 기준면과 측정물체의 측정면으로 분리하는 빔스플리터, 및 상기 기준면과 측정면으로부터의 반사광을 합성하여 합성간섭광으로 출사하는 렌즈로 구성되며, 상기 광분할부는 상기 광간섭부로부터의 합성간섭광을 통과하여 출사하는 렌즈와, 상기 영상획득부로 상기 합성간섭광을 반사 및 투과하는 복수개의 빔스플리터; 및 상기 영상획득부의 전단에 대응되게 위치하며 서로 다른 파장의 광만을 통과시키는 복수개의 필터로 구성되고, 상기 영상획득부는 적어도 하나 이상의 카메라로 구성되되 상기 카메라에서 얻어진 적어도 3개 이상의 간섭무늬의 이미지를 이용하여 첫번째 카메라에서는 파장이 λa인 간섭무늬의 첫 번째위상(Φa(x,y))를 얻고, 두 번째 카메라에서는 파장이 λb인 간섭무늬의 두 번째위상(Φb(x,y))를 얻고, 세 번째 카메라에서는 파장이 λc인 간섭무늬의 세 번째위상(Φc(x,y))을 얻은 다음, 간섭무늬 위상Φa(x,y)와 Φb(x,y)의 차이로 첫 번째 맥놀이 위상(Φ1(x,y))을 구하고, 간섭무늬 위상 Φa(x,y)와 Φc(x,y)의 차이로 두 번째 맥놀이 위상(Φ2(x,y))을 구하며, 상기 두개의 맥놀이 위상 Φ1(x,y)과 Φ2(x,y)의 차이인 Φ12(x,y)을 구한 다음 임의점에서의 높이 H(x,y)를 이는 Φ12(x,y), Φ1(x,y)와 Φ2(x,y)를 이용하여 구하는 것을 특징으로 한다. 입체형상측정, 간섭계, 간섭무늬
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