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어퍼쳐 주위에 볼록부 또는 오목부를 구비하는 정전 전극

  • 기술번호 : KST2015213198
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자 칼럼에서 사용되는 전자 렌즈의 정전 전극층에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 전자 렌즈의 전자 집속 능력을 향상시키고 전자빔을 형성하는 유효 전자의 숫자를 증가시키기 위하여 어퍼쳐 주변에 굴곡을 형성한 정전 전극에 관한 것이다.
Int. CL H01J 37/12 (2006.01.01) H01J 37/147 (2006.01.01)
CPC H01J 37/12(2013.01) H01J 37/12(2013.01) H01J 37/12(2013.01) H01J 37/12(2013.01) H01J 37/12(2013.01)
출원번호/일자 1020120018664 (2012.02.23)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1357957-0000 (2014.01.24)
공개번호/일자 10-2013-0096996 (2013.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20140205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.23)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 김대욱 대한민국 경기 성남시 분당구
3 안승준 대한민국 대전 서구
4 오태식 대한민국 충남 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2012-0149506-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0033071-99
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0517948-26
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0878874-11
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0878873-76
7 등록결정서
Decision to grant
2014.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0052308-32
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자 칼럼에서 전자 빔을 포커싱하기 위한 포커스 렌즈에 있어서,상기 포커스 렌즈가 정전 전극의 어퍼쳐 주위에 굴곡이 형성된 정전 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 포커스 렌즈
2 2
제1항에 있어서, 상기 굴곡의 평면 형상이 상기 어퍼쳐의 형상에 대응되는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 포커스 렌즈
3 3
제2항에 있어서, 상기 굴곡의 단면 형상이 오목부 또는 볼록부로 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 칼럼용 포커스 렌즈
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 오목부 또는 볼록부의 형상이 사각형, 삼각형, 톱니형, 반원형, 반타원형 중 어느 하나 이상인 것이며, 그리고 상기 전극이 최상부의 층에 배치된 것,을 특징으로 하는 전자 칼럼용 포커스 렌즈
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.