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편심 어퍼쳐를 가진 전극층을 포함하는 멀티 입자 빔 칼럼

  • 기술번호 : KST2015213206
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  • 전화번호 :
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요약 본 발명은 입자 빔 칼럼에서 입자 빔을 제어하는 방법에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 입자 빔 칼럼에서 편심 어퍼쳐를 가진 전극층을 구비하여 용이하게 입자 빔 칼럼을 제어할 수 있도록 한 것이다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01.01)
CPC H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01)
출원번호/일자 1020120008489 (2012.01.27)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1357940-0000 (2014.01.24)
공개번호/일자 10-2013-0087278 (2013.08.06) 문서열기
공고번호/일자 (20140205) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.01.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 김대욱 대한민국 경기 성남시 분당구
3 안승준 대한민국 대전 서구
4 오태식 대한민국 충남 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0070890-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0028671-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0453950-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0800993-96
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0801034-15
7 등록결정서
Decision to grant
2014.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0052307-97
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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입자 빔 방출원, 디플렉턱, 및 두개 이상의 전극층을 구비한 전자 렌즈를 포함하는 입자 빔 칼럼이 2개 이상 결합된 멀티 입자 빔 칼럼에 있어서,상기 멀티 칼럼이 개별 칼럼의 빔 광학 축으로부터 어퍼쳐가 편심된 전극 층(이하 편심 전극층 이라 한다)을 하나 이상 구비하며,상기 편심 전극층의 어퍼쳐가 개별 빔들의 광학축에 모두 다른 위치에 겹치지 않도록 배열되며 그리고 개개의 칼럼에서 동일하게 빔의 스캔이 제어되어, 그 결과 상기 멀티 전자 칼럼의 개개의 칼럼에서 주사된 각각의 입자 빔이 시료에 동시에 주사되지 않도록 하며, 그리고상기 편심 전극층이 디플렉터 보다 아래에 배치되는 것,을 특징으로 하는 멀티 입자 빔 칼럼
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삭제
3 3
삭제
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제1항에 있어서, 상기 편심 전극층이 2개 이상 모여 전자 렌즈를 형성하는 것을 특징으로 하는 멀티 입자 빔 칼럼
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제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 편심 전극층이 빔의 진행 경로에서 마지막 전극 층으로서 배치되는 것을 특징으로 하는 멀티 입자 빔 칼럼
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.