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광을 출사하는 광원;상기 광원에서 출사되는 광을 측정 대상물 방향으로 반사시키는 빔스플리터;상기 빔스플리터를 통해 반사된 광을 측정 대상물에 조사하는 것으로, 색수차를 가지는 광학 렌즈;상기 광학렌즈를 통해 측정 대상물에 조사되어 반사되는 광이 상기 빔스플리터를 투과하여 입사되면 이를 파장별로 분할하는 분광기;상기 분광기를 통해 파장별로 분할된 광을 검출하는 검출기; 및상기 검출기에서 분할된 광의 초점이 맞는 파장에 따른 광세기를 통해 표면 형상을 해석하는 영상처리부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 검출기는,파장대별 신호를 검출하기 위해 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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제 1항에 있어서, 상기 광학렌즈는,대물렌즈(objective lens)로 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 광원에서 출사되는 광을 상기 빔스플리터로 전달할 때 평행광으로 출사시키기 위한 콜리메이팅 렌즈를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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광을 출사하는 광원;상기 광원에서 출사되는 광을 측정 대상물 방향으로 반사시키는 빔스플리터;상기 빔스플리터를 통해 반사된 광을 측정 대상물에 조사되도록 다수의 측정광으로 분할하는 색수차를 가지는 제 1어레이 렌즈;상기 제 1어레이 렌즈를 통해 측정 대상물에 조사되어 반사되는 광이 상기 빔스플리터를 투과하여 입사되면 이를 파장별로 분할하는 분광기;상기 분광기를 통해 파장별로 분할된 광을 검출하는 검출기; 및상기 검출기에서 분할된 광의 초점이 맞는 파장에 따른 광세기를 통해 표면 형상을 해석하는 영상처리부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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제 5항에 있어서, 상기 광학렌즈는,대물렌즈(objective lens)로 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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제 5항에 있어서, 상기 광원에서 출사되는 광을 상기 빔스플리터로 전달할 때 평행광으로 출사시키기 위한 콜리메이팅 렌즈를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 색수차를 이용한 표면 형상 측정장치
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