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초소형 전자 광학 칼럼

  • 기술번호 : KST2015213242
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 해상도를 높이고, 고속 편향이 가능하고, 시료 표면에서의 스캔 영역을 보다 크게 유지할 수 있으며, 제조상의 용이성을 확보한 초소형 전자 광학 컬럼에 관한 기술이 개시된다. 이를 위해, 본 발명에 따른 초소형 전자 광학 컬럼은 전계 전자 방출 원리를 이용하여 전자를 방출시키는 전자 방출원; 전자 방출원으로부터 전자 방출을 유도하여 전자 방출원에서 전자빔이 형성되게 하는 소스 렌즈부; 전자빔을 편향시키는 편향부; 및 편향부를 통과한 전자빔을 타겟에 집속시키는 집속 렌즈부를 포함하며, 소스 렌즈부는 전자 방출원에서 발생되는 전자빔의 집속력을 조절하기 위하여, 동작거리에 따라 전압이 유동적으로 인가되는 제어 전극부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01.01) H01J 37/06 (2006.01.01)
CPC H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01) H01J 37/147(2013.01)
출원번호/일자 1020130010826 (2013.01.31)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1415745-0000 (2014.06.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.31)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오태식 대한민국 충남 천안시 동남구
2 김호섭 대한민국 인천광역시 서구
3 김대욱 대한민국 경기 성남시 분당구
4 안승준 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한양특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 한양빌딩 (도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2013-0092260-85
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0105379-67
4 [특허 등 절차 취하]취하(포기)서
[Withdrawal of Procedure such as Patent, etc.] Request for Withdrawal (Abandonment)
2014.01.07 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2014-0013263-71
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2014.01.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0002494-46
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2014.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0027531-78
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0227239-39
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2014-0521054-62
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.06.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0521056-53
10 등록결정서
Decision to grant
2014.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0423881-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전계 전자 방출 원리를 이용하여 전자를 방출시키는 전자 방출원;상기 전자 방출원으로부터 전자 방출을 유도하여 전자빔이 형성되게 하는 소스 렌즈부;상기 전자빔을 편향시키는 편향부; 및상기 편향부를 통과한 상기 전자빔을 타겟에 집속시키는 집속 렌즈부를 포함하며,상기 소스 렌즈부는 상기 전자 방출원에서의 전자 방출을 유도하는 인출 전극부;상기 인출 전극부에서 방출된 상기 전자를 가속하는 가속 전극부; 및상기 인출 전극부와 상기 가속 전극부 사이에 형성되어, 상기 전자 방출원에서 발생되는 상기 전자빔의 집속력을 조절하기 위해, 동작거리에 따라 전압이 유동적으로 인가되는 제어 전극부를 포함하는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
2 2
청구항 1에 있어서,상기 소스 렌즈부는,상기 가속 전극부에 의하여 가속된 상기 전자에 의한 전자빔의 양과 크기를 제어하는 제한 전극부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
3 3
삭제
4 4
청구항 1에 있어서, 상기 제어 전극부에서 상기 전자빔이 통과하는 제어 전극 통과공의 직경은, 상기 인출 전극부에 형성된 상기 전자빔이 통과하는 인출 전극 통과공의 직경과 같거나 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 편향부는 각각 상기 전자빔을 편향시키는 제 1 서브 편향부 및 제 2 서브 편향부를 포함하는 8중극 정전 2중 편향부(Octupole electrostatic double deflector) 또는 4중극 정전 2중 편향부(Quadrupole electrostatic double deflector)로 구성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
6 6
청구항 5에 있어서, 상기 제 1 서브 편향부 및 상기 제 2 서브 편향부는 상기 소스 렌즈부를 통과한 상기 전자빔을 편향시키도록, 상기 소스 렌즈부와 상기 집속 렌즈부의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
7 7
청구항 5에 있어서,상기 제 1 서브 편향부는 상기 소스 렌즈부를 통과한 상기 전자빔을 상기 집속 렌즈부의 중심부를 통과하게 조정하거나 상기 전자빔의 형상을 조정하도록 상기 소스 렌즈부와 상기 집속 렌즈부의 사이에 형성되며, 상기 제 2 서브 편향부는 상기 집속 렌즈부를 통과한 상기 전자빔을 편향시키도록 상기 집속 렌즈부와 상기 타겟의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
8 8
청구항 1에 있어서,상기 편향부는 상기 소스 렌즈부를 통과한 상기 전자빔을 편향시키도록, 상기 소스 렌즈부와 상기 타겟의 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
9 9
청구항 1에 있어서, 상기 집속 렌즈부는 복수개의 서브 전극부를 포함하는 아인젤 렌즈(Einzel lens)로 형성되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
10 10
청구항 1에 있어서, 상기 제어 전극부는 상기 인출 전극부와 상기 가속 전극부로부터 각각 100 ㎛ 내지 500 ㎛ 범위 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
11 11
청구항 1에 있어서, 상기 제어 전극부에는 상기 전자 방출원에 인가되는 전압의 90% 이하의 전압이 유동적으로 인가되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
12 12
청구항 1에 있어서,전자 방출원은, 텅스텐(W), 몰리브텐(Mo), 탄화하프늄(HfC), 실리콘(Si), 탄소나노튜브(carbon nanotube), 그래핀(graphene) 등을 이용하여 구성되어지는 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
13 13
청구항 1에 있어서,상기 동작거리는 상기 집속 렌즈부의 출구에서부터 상기 타겟까지의 거리인 것을 특징으로 하는 초소형 전자 광학 컬럼
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.