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검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부; 및상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부;를 포함하고,상기 투사부에는 상기 광을 투사하는 복수의 렌즈가 마련되며,상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라지는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 검사체가 xy 평면에서 x축 방향으로 이동할 때,상기 각 렌즈는 xy 평면 상에 배열되고,상기 각 렌즈의 곡률은 상기 각 렌즈의 배열에서 x축 방향을 따라 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점 거리가 달라지는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 투사부는 광을 생성하는 광원, 상기 광원의 광을 입력받고 상기 광의 초점을 생성하는 상기 렌즈가 복수로 형성된 제1 영역의 MLA(Micro Lens Array)를 포함하고,상기 MLA에서 출력되는 광을 평면상 상기 제1 영역보다 큰 제2 영역으로 확장시키는 확장 렌즈부;를 포함하는 검사 장치
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동일 파장의 광을 생성하는 광원부;상기 광원부로부터 방사상으로 투사되는 광의 경로를 직선으로 변환시키는 제1 렌즈부; 및상기 제1 렌즈부로부터 출력되는 광의 초점을 형성하는 렌즈가 복수로 마련되고, 검사체에 대해 상대적으로 이동하는 제2 렌즈부;를 포함하고,상기 제2 렌즈부의 상기 각 렌즈의 곡률은 서로 다르고, 상기 곡률의 차이로 상기 초점의 거리가 달라지는 검사 장치
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제4항에 있어서,상기 제2 렌즈부와 상기 검사체의 사이에 배치되고, 상기 제2 렌즈부에서 형성된 각 초점 간의 거리를 증가시키는 제3 렌즈부;를 포함하는 검사 장치
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