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더블 어라인너를 구비한 초소형 컬럼

  • 기술번호 : KST2015213247
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초소형 컬럼에 관한 것으로, 보다 상세하게는 입자빔의 원래 주사 경로와 리미팅어퍼쳐의 어퍼쳐 축이 이격된 경우 이를 보정하되, 더블 어라인너들에 의해 리미팅어퍼쳐의 어퍼쳐로 입자빔의 경로가 정렬되게 하여 입자빔의 경로를 효율적으로 보정하는 더블 어라인너를 구비한 초소형 컬럼에 관한 것이다.이와 같은 본 발명의 특징은 소스렌즈를 포함하는 초소형컬럼에 있어서, 상기 소스렌즈는 입자빔의 경로를 보정하는 두 개 이상의 어라인너층을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/147 (2006.01.01) H01J 37/153 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130022157 (2013.02.28)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1417603-0000 (2014.07.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.02.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김 호 섭 대한민국 인천 서구
2 김대욱 대한민국 경기 성남시 분당구
3 안승준 대한민국 대전 서구
4 오태식 대한민국 충남 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0183238-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.12.17 수리 (Accepted) 9-1-2013-0103159-83
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0070971-05
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0298473-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0298475-04
7 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2014.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2014-0328215-99
8 보정요구서
Request for Amendment
2014.04.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0057507-29
9 등록결정서
Decision to grant
2014.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0435095-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소스렌즈를 포함하는 초소형컬럼에 있어서,상기 소스렌즈는 입자빔의 경로를 보정하는 두 개 이상의 어라인너층을 포함하며,상기 소스렌즈는 리미팅어퍼쳐를 포함하고, 그리고상기 소스렌즈에 조사된 입자빔의 진행축과 미스얼라인 상태인 리미팅어퍼쳐의 어퍼쳐 측으로 입자빔이 조사되도록, 상기 두 개 이상의 어라인너층에 의하여 입자빔의 경로를 보정하는 것을 특징으로 하는 어라인너층을 포함한 초소형컬럼
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 소스렌즈의 엑스트렉터 및 엑셀레이터 중 어느 하나 이상은 어라인너층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 어라인너층을 포함한 초소형컬럼
4 4
제 1항 또는 제 3항에 있어서,상기 초소형컬럼은, 하나의 입자빔방출원과 입자빔을 제어하기 위한 렌즈들을 포함한 싱글형초소형컬럼으로 구비되거나 또는 다수의 입자빔방출원과 다수의 입자빔을 제어하기 위한 렌즈들을 포함한 멀티형초소형컬럼으로 구비되고,상기 초소형컬럼은:상기 두 개 이상의 어라인너층을 포함한 소스렌즈;입자빔을 스캔하는 디플렉터;시료에 입자빔을 집속시키는 포커싱렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 어라인너층을 포함한 초소형컬럼
5 5
두 개 이상의 어라인너층 및 리미팅어퍼쳐를 포함한 소스렌즈로 입자빔이 조사되는 방출빔조사단계;두 개 이상의 어라인너층 중 제1어라인너층에 의하여, 엑셀레이터와 리미팅어퍼쳐 사이의 입자빔이 보정경로축의 방향으로 향하게 하는 보정방향지향단계; 및두 개 이상의 어라인너층 중 제2어라인너층에 의하여, 상기 제1어라인너층을 지난 입자빔이 리미팅어퍼쳐의 어퍼쳐로 정렬되어 조사되게 하는 보정빔정렬단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 어라인너층을 포함한 초소형컬럼의 입자빔 경로 보정방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 선문대학교 산학협력단 산업융합원천기술개발사업 EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티전자빔 웨이퍼 검사기술 개발