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빔 스폿 사이즈를 개선한 4중극 렌즈층의 소스렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼

  • 기술번호 : KST2015213264
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 4중극 렌즈층의 소스렌즈를 포함하는 초소형 전자칼럼에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 상대적으로 쉬운 제작 공정을 통해 만들 수 있는 5nm급 정도의 고 해상도를 가질 수 있는 초소형 전자칼럼에 관한 것이다. 초소형 전자칼럼의 소스렌즈에서 추출전극의 구경이 보조집속전극의 구경보다 크거나 같도록 하여 용이하게 고 해상도 전자칼럼을 만들 수 있다.
Int. CL H01J 37/28 (2006.01.01)
CPC H01J 37/28(2013.01) H01J 37/28(2013.01)
출원번호/일자 1020140022926 (2014.02.26)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1588277-0000 (2016.01.19)
공개번호/일자 10-2015-0101535 (2015.09.04) 문서열기
공고번호/일자 (20160126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오태식 대한민국 충남 천안시 동남구
2 김 호 섭 대한민국 인천 서구
3 김대욱 대한민국 경기 성남시 분당구
4 안승준 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0191759-34
2 보정요구서
Request for Amendment
2014.03.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2014-0039796-85
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2014.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0221395-67
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.10.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2014-0089644-20
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0182582-20
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0475886-42
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0475922-09
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0666836-41
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1135017-42
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1135317-34
12 등록결정서
Decision to grant
2016.01.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0033076-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자를 방출시키는 전자 방출원, 상기 전자를 빔으로 형성하고 제어하는 하나 이상의 정전기장 전자렌즈, 및 상기 전자빔을 시료에 스캔하게 하는 디플렉터를 포함하는 초소형 전자칼럼에 있어서,상기 초소형 전자칼럼이 상기 전자 방출원으로부터 방출된 전자들을 빔으로 형성하고 제어하는 정전기장 전자렌즈로서 소스렌즈를 포함하며, 상기 소스렌즈는, 상기 전자 방출원에서의 상기 전자 방출을 유도하는 추출전극; 상기 전자 방출원으로부터 발생하는 전자빔의 집속력을 조절하기 위한 보조집속전극; 상기 추출전극에 의하여 방출된 상기 전자를 가속하는 가속전극; 및 상기 가속전극에 의하여 가속된 상기 전자에 의한 상기 전자빔의 양과 크기를 제어하는 제한전극;을 구비하며, 그리고상기 추출전극의 구경이 상기 보조집속전극의 구경보다 크거나 같은 것,을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼
2 2
제1항에 있어서,상기 전자 방출원, 하나 이상의 전자렌즈, 및 디플렉터 중 어느 하나 이상이 각각 하나의 실리콘 기판에 복수개로 형성되고, 상기 기판들을 순차적으로 조립하여 복수개의 전자칼럼을 형성하는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 초소형 전자칼럼이 전자방출원, 상기 소스렌즈, 및 디플렉터를 포함하며, 상기 디플렉터가 제한전극과 시료 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 초소형 전자칼럼
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통산자원부 선문대학교 산업융합원천기술개발사업 EUV 마스크 actinic 검사장비 및 멀티전자빔 웨이퍼 검사기술개발