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멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치

  • 기술번호 : KST2015213338
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치는, 광을 출사하는 광원, 상기 광원에서 출사되는 광을 측정 대상물 방향으로 반사시키는 빔스플리터, 상기 빔스플리터를 통해 반사된 광을 측정 대상물에 조사되도록 다수의 측정광으로 분할하는 제 1어레이 렌즈, 상기 제 1어레이 렌즈를 통해 표면에 조사된 측정광이 반사되어 상기 빔스플리터를 투과하여 입사되면 상기 제 1어레이 렌즈를 통해 분할된 다수의 측정광에 대응하도록 다시 분할한 후 각 측정광에 따른 특성을 검출하는 상기 검출부, 상기 검출부에서 검출된 각 측정광의 특성을 검출하여 측정 대상물 표면 영상을 처리하는 영상처리부 및 측정 대상물에 수직하게 측정광을 구동시키는 구동부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이와 같이 구성되는 본 발명은 다수의 측정광을 통해 동시에 대면적 표면을 검출할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL G01B 11/25 (2006.01.01)
CPC G01B 11/2518(2013.01)
출원번호/일자 1020110052336 (2011.05.31)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0133604 (2012.12.11) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고국원 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 노희진 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인대한 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 부봉빌딩 *층 (역삼동)

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0410103-27
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.06.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0050819-47
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0528842-27
4 보정요구서
Request for Amendment		 2011.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0064750-68
5 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2011.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0554146-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 출사하는 광원;상기 광원에서 출사되는 광을 측정 대상물 방향으로 반사시키는 빔스플리터;상기 빔스플리터를 통해 반사된 광을 측정 대상물에 조사되도록 다수의 측정광으로 분할하는 제 1어레이 렌즈;상기 제 1어레이 렌즈를 통해 표면에 조사된 측정광이 반사되어 상기 빔스플리터를 투과하여 입사되면 상기 제 1어레이 렌즈를 통해 분할된 다수의 측정광에 대응하도록 다시 분할한 후 각 측정광에 따른 특성을 검출하는 상기 검출부;상기 검출부에서 검출된 각 측정광의 특성을 검출하여 측정 대상물 표면 영상을 처리하는 영상처리부; 및측정 대상물에 수직하게 측정광을 구동시키는 구동부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 검출부는,상기 빔스플리터를 투과하는 측정광을 다수의 측정광으로 분리하는 제 2어레이 렌즈;상기 제 2어레이 렌즈를 투과한 각 측정광을 투과시키는 다수의 핀홀이 구비된 핀홀유닛; 및상기 핀홀유닛을 통과하는 측정광을 검출하는 디텍터;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 검출부는,상기 측정광의 세기를 검출하는 공초점(confocal) 방식으로 검출하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
4 4
제 2항에 있어서, 상기 디텍터는,상기 측정광의 세기를 검출하는 공초점(confocal) 방식으로 검출하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제 1어레이 렌즈와 제 2어레이 렌즈는,측정광을 집광하여 초점이 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 빔스플리터를 투과하여 검출부로 측정광을 전달하기 위한 튜브렌즈를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 멀티 어레이 렌즈를 이용한 표면형상 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.