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검사 장치

  • 기술번호 : KST2015213341
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 검사 장치는 검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부 및 상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부를 포함함으로써, 검사체 표면의 굴곡을 고속으로 신뢰성 있게 측정할 수 있다.
Int. CL G01B 11/25 (2006.01.01) G02B 27/00 (2006.01.01) G01B 11/06 (2006.01.01)
CPC G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01) G01B 11/2518(2013.01)
출원번호/일자 1020130047420 (2013.04.29)
출원인 선문대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1490447-0000 (2015.01.30)
공개번호/일자 10-2014-0128689 (2014.11.06) 문서열기
공고번호/일자 (20150209) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.04.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 선문대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 아산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고국원 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 태웅 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, *동***호(양재동,양재역환승주차장)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 고영테크놀러지 서울특별시 금천구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0376751-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.02.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.03.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0017312-67
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0248661-20
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.03 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0526601-09
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0526600-53
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0745793-17
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.26 수리 (Accepted) 4-1-2019-5169188-72
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번호 청구항
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검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부; 및상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부;를 포함하고,상기 검사체가 xy 평면에서 x축 방향으로 이동할 때,상기 투사부는 xy 평면 상에 배열된 복수의 렌즈를 포함하고,각 렌즈로부터 투사되는 광은 상기 렌즈의 배열에서 x축 방향을 따라 서로 색수차가 다르고, 상기 색수차의 차이로 상기 초점 거리가 달라지는 검사 장치
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검사체의 표면에 대해 서로 다른 초점 거리를 갖는 복수의 광(光)을 투사하는 투사부; 및상기 검사체에서 반사된 광으로 상기 검사체의 표면을 검사하는 검사부;를 포함하고,상기 투사부는 광을 생성하는 광원, 상기 검사체를 향하는 방향에 상기 광의 초점을 복수로 형성하는 MLA(Micro Lens Array)를 포함하고,상기 MLA에서 출력되는 광을 평면상 상기 MLA의 제1 영역보다 큰 제2 영역으로 확장시키는 확장 렌즈;를 포함하는 검사 장치
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백색광을 생성하는 광원;상기 광원으로부터 방사상으로 투사되는 광의 경로를 직선으로 변환시키는 제1 렌즈부;상기 제1 렌즈부로부터 출력되는 상기 백색광을 서로 다른 색수차를 갖는 복수의 세부광으로 변환시켜 출력하는 스펙트럼부;xy 평면 상에서 상기 각 세부광을 x축 방향으로 서로 다른 위치에 투사시키는 경로 변환부;상기 각 세부광의 초점을 형성하고, xy 평면에 배치된 검사체에 대해 상대적으로 x축 방향으로 이동되는 제2 렌즈부;상기 제2 렌즈부와 상기 검사체의 사이에 배치되고, 상기 제2 렌즈부에서 형성된 각 초점 간의 거리를 xy 평면 상에서 증가시키는 제3 렌즈부;를 포함하는 검사 장치
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