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반응챔버; 상기 반응챔버의 상부 외측에 형성된 유전물질층; 상기 유전물질층 상에서 수평적으로 서로 일정한 간격을 두고 배치되어 있으며, 유도전력이 인가되어 전기장을 형성하는 복수개의 선형 안테나들; 서로 마주보는 두 변을 따라 복수개의 홀이 형성된 사각형 기판과, 상기 사각형 기판의 마주보는 두 변에 형성된 대응하는 홀들에 체결될 수 있도록 길게 연장된 복수개의 자석부착대, 상기 각 자석부착대에 형성되어 있으며 자석의 탈부착이 가능한 재질로 이루어진 자석부착판들 및 상기 각 자석부착대의 자석부착판들상에 형성된 복수개의 자석들을 포함하고, 상기 복수개의 선형 안테나들로부터 발생되는 전기장과 교차하는 자기장을 발생시켜 상기 반응챔버 내에 존재하는 전자의 나선운동을 촉진시키도록 상기 적어도 하나의 선형 안테나에 인접하여 배치된 적어도 하나의 자기장 발생부를 포함하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 선형 안테나들은 전기적으로 직렬, 병렬 또는 직렬 및 병렬의 조합 형태로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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제 3 항에 있어서, 상기 복수개의 선형 안테나들은 서로 인접한 안테나에서의 전류의 방향이 서로 다르도록 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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제 1 항에 있어서, 상기 자기장 발생부는 상기 복수개의 선형 안테나들의 상측에 일정한 거리를 두고 배치되며, 상기 선형 안테나의 길이방향을 따라 상기 선형 안테나의 좌우에 각기 다른 극성의 자석이 배치된 것임을 특징으로 하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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제 5 항에 있어서, 상기 선형 안테나들과 상기 자석들은 각각 임의의 수직 거리를 두고 있는 것을 특징으로 하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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제 5 항에 있어서, 상기 선형 안테나의 좌우에 각기 배치된 상기 자석간의 거리는 상호 임의의 거리를 두고 있는 것을 특징으로 하는 자장강화된 대면적 처리용 유도 결합 플라즈마 소오스
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