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자기장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생장치

  • 기술번호 : KST2015214421
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자기장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생장치에 관한 것으로, 식각 기판이 장착되는 스테이지가 구비된 반응챔버와; 다수의 안테나 봉이 연결된 제1 및 제2안테나가 서로 대향 교차되되 병렬로 배치되어 구성된 안테나 소오스;로 이루어진 유도결합 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 안테나 봉은 상부에 복수개의 자성체가 구비되어 안테나 소오스를 구성하도록 함으로써 플라즈마 균일도를 증가시킬 수 있고, 기판의 크기에 따라 안테나의 간격을 조절할 수 있어 향상된 균일도를 유지시킬 수 있다. 플라즈마, 안테나, 자성체, 자기장, 균일도
Int. CL H05H 1/26 (2006.01)
CPC H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01) H05H 1/46(2013.01)
출원번호/일자 1020040017227 (2004.03.15)
출원인 학교법인 성균관대학
등록번호/일자 10-0533824-0000 (2005.11.30)
공개번호/일자 10-2005-0092146 (2005.09.21) 문서열기
공고번호/일자 (20051207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.03.15)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 성균관대학 대한민국 서울 종로구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 염근영 대한민국 서울특별시송파구
2 김경남 대한민국 대전광역시서구
3 정승재 대한민국 경기도광명시하

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인정직과특허 대한민국 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층)
2 윤여표 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길 *, ***호(방배동,정암빌딩)(웰컨설팅(분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2004-0105168-76
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2005-0040530-32
4 등록결정서
Decision to grant		 2005.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0597587-24
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번호 청구항
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식각 기판이 장착되는 스테이지가 구비된 반응챔버; 다수의 안테나 봉이 연결된 제1 및 제2안테나가 서로 대향 교차되되 병렬로 배치되어 구성된 안테나 소오스;로 구성된 플라즈마 발생장치에 있어서, 상기 각각의 안테나 봉(410)(420)은 상부에 복수개의 자성체(6)가 구비되어 안테나 소오스(4)를 구성하도록 한 것을 특징으로 하는 자기장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 자성체(6)는 N극을 띄는 영구자석(62)과 S극을 띄는 영구자석(64)을 2개 1조로 하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생장치
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제1항에 있어서, 상기 자성체(6)는 N극을 띄는 영구자석(62)과 S극을 띄는 영구자석(64)을 2개 1조로 하여 구성된 것을 특징으로 하는 자기장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생장치
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