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고속으로 가속된 이온 빔의 에너지를 측정하기 위한 장치로서,
상기 이온 빔의 진행 경로 상에 배치된 포일 형태의 감속체; 및
상기 감속체를 통과한 이온 빔에 의한 전류를 측정하는 전류 측정기;를 포함하는 이온 빔의 에너지 측정 장치에 있어서,
상기 이온 빔이 통과하는 통로를 구비한 프레임;
상기 이온 빔의 진행 경로에 대해 수직한 방향으로 상기 프레임에 대해 상대이동이 가능하고 상기 프레임에 대해 회전가능하게 설치되며, 상기 감속체가 설치된 승강 부재; 및
상기 승강 부재를 그 승강 부재의 둘레방향으로 회전시키는 회전수단; 을 포함한 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제1항에 있어서,
상기 회전수단은 상기 승강 부재의 일단부에 그 승강 부재와 동력적으로 결합된 회전 모터인 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제2항에 있어서,
상기 회전 모터와 상기 승강 부재는 감속기에 의해 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제1항에 있어서,
상기 승강 부재를 상기 이온 빔의 진행 경로에 대해 수직한 방향으로 상기 프레임에 대해 이동시키는 승강수단;을 더 포함한 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제4항에 있어서,
상기 승강수단은,
상기 프레임에 대해 이동 가능하게 설치되며 상기 승강 부재와 상대 고정된 이동 부재;
상기 이동 부재와 상기 프레임을 동력적으로 연결하는 볼 스크류; 및
상기 이동 부재의 이동을 위해 상기 볼 스크류의 일단부에 동력적으로 연결되고 상기 프레임에 상대 고정된 승강 모터;를 포함한 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제5항에 있어서,
상기 이동 부재는 가이드 공을 구비하며,
상기 프레임은 상기 가이드 공에 슬라이딩 가능하도록 설치된 기둥형상의 지지 가이드를 더 포함한 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제1항에 있어서,
상기 승강 부재는 그 승강 부재의 길이방향을 따라 서로 다른 두께를 가지는 감속체가 각각 설치되도록 복수의 설치공이 구비된 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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제1항에 있어서,
상기 프레임은 상기 승강 부재에 설치된 감속체의 교환을 위해 개폐 가능한 윈도우를 구비한 것을 특징으로 하는 회전 감속체 두께 변화를 이용한 가속 이온 빔의 에너지 측정 장치
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