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가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015214560
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 장치는 가로 및 세로로 이동이 가능한 모션 스테이지; 가속 이온빔을 상기 모션 스테이지로 조사하는 가속 이온빔 조사부; 및 카이 스퀘어 피팅(Chi- Square fitting) 프로그램을 사용하여 목표 균일빔 영역 및 목표 균일빔 밀도 분포를 만족하도록 상기 가속 이온빔 조사부에서 조사되는 상기 가속 이온빔의 상기 모션 스테이지에 대한 각각의 스팟 조사시간을 산출하고, 산출된 각각의 상기 스팟 조사시간에 대응하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하여, 산출된 각각의 상기 이동속도에 따라 라인 스캐닝을 위한 상기 모션 스테이지의 움직임을 제어하는 스테이지 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01J 37/317 (2006.01.01) H01J 37/08 (2006.01.01) H01J 37/244 (2006.01.01) H01J 37/24 (2006.01.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020120037559 (2012.04.10)
출원인 한국원자력의학원
등록번호/일자 10-1416775-0000 (2014.07.02)
공개번호/일자 10-2013-0115026 (2013.10.21) 문서열기
공고번호/일자 (20140709) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.04.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력의학원 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박연수 대한민국 서울 관악구
2 정인수 대한민국 서울 강남구
3 양태건 대한민국 서울 구로구
4 조성진 대한민국 서울 강남구
5 김근범 대한민국 경기 의정부시 호암로 ***,
6 김창혁 대한민국 경기 의정부시 외미로 **,
7 홍봉환 대한민국 서울 성북구
8 강준선 대한민국 서울 노원구
9 한가람 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력의학원 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0287633-95
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0032481-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0672867-73
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.11.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-1096627-54
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1208493-72
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0099614-97
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-0099613-41
9 등록결정서
Decision to grant
2014.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0418982-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-0027536-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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가로 및 세로로 이동이 가능한 모션 스테이지;가속 이온빔을 상기 모션 스테이지로 조사하는 가속 이온빔 조사부; 및카이 스퀘어 피팅(Chi- Square fitting) 프로그램을 사용하여 상기 가속 이온빔 조사부에서 조사되는 상기 가속 이온빔이 상기 모션 스테이지의 각 스팟 영역에 대하여 목표 균일빔 영역 및 목표 균일빔 밀도 분포를 만족시키도록 각각의 스팟 조사시간을 산출하고, 각 스팟 영역에 대하여 산출된 각각의 상기 스팟 조사시간에 대응하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하며, 산출된 각각의 상기 이동속도에 따라 라인 스캐닝을 위한 상기 모션 스테이지의 움직임을 제어하는 스테이지 제어부를 포함하되,상기 스테이지 제어부는, 다음의 수학식을 사용하여 상기 스팟 조사시간을 산출하는 것을 특징으로 하는 가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 스테이지 제어부는상기 스팟 조사시간에 반비례하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하고, 산출된 각각의 상기 이동속도에 따라 상기 모션 스테이지의 움직임을 제어하는 것을 특징으로 하는 가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 장치
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스테이지 제어부가 카이 스퀘어 피팅(Chi- Square fitting) 프로그램을 사용하여 가속 이온빔 조사부에서 조사되는 가속 이온빔이 모션 스테이지의 각 스팟 영역에 대하여 목표 균일빔 영역 및 목표 균일빔 밀도 분포를 만족시키도록 각각의 스팟 조사시간을 산출하는 단계;상기 스테이지 제어부가 산출된 각각의 상기 스팟 조사시간에 대응하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하는 단계; 및상기 스테이지 제어부가 산출된 각각의 상기 이동속도에 따라 라인 스캐닝을 위한 상기 모션 스테이지를 가로 및 세로로 이동시킬 때, 상기 가속 이온빔 조사부가 상기 가속 이온빔을 상기 모션 스테이지로 조사하는 단계를 포함하며,상기 스팟 조사시간을 산출하는 단계는, 상기 스테이지 제어부가 다음의 수학식을 사용하여 상기 스팟 조사시간을 산출하는 것을 특징으로 하는 가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 방법
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 스팟 조사시간에 대응하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하는 단계는상기 스팟 조사시간에 반비례하는 상기 모션 스테이지의 이동속도를 각각 산출하는 것을 특징으로 하는 가속 이온빔의 밀도 분포 균일화를 위한 라인 스캐닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력의학원 중입자가속기기술개발사업 의료용중입자가속기개발