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도핑용 전기로의 가스공급용 니들의 클리닝 장치

  • 기술번호 : KST2015215541
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지용 pn접합을 만들기 위한 도핑용 전기로에 포클가스(POCl3)를 공급하기 위하여 특수 제작된 니들(Needle)을 클리닝하는 장치에 관한 것으로, 도핑용 전기로 내에 포클가스를 공급하는 니들에 응착된 염소를 녹여 제거하기 위한 HF 희석용액(Hydro Fluoric acid)을 담는 용액용기; 및 상기 용액용기를 안전하게 거치하여 상기 니들의 세척이 안정적으로 이루어지도록 하며, 세척 후 상기 HF 희석용액을 용이하게 제거할 수 있도록 구성된 거치대;를 포함하는 도핑용 전기로의 가스공급용 니들의 클리닝 장치를 제공한다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) H01L 21/22 (2006.01)
CPC H01L 31/1864(2013.01) H01L 31/1864(2013.01)
출원번호/일자 1020100138362 (2010.12.30)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0076702 (2012.07.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오데레사 대한민국 충북 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
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최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0874128-83
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.17 수리 (Accepted) 4-1-2012-5174664-69
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175177-48
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-0044439-18
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.04.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5054173-55
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
도핑용 전기로 내에 포클가스(POCl3)를 공급하는 니들에 응착된 염소를 녹여 제거하기 위한 HF 희석용액(Hydro Fluoric acid)을 담는 용액용기; 및상기 용액용기를 안전하게 거치하여 상기 니들의 세척이 안정적으로 이루어지도록 하며, 세척 후 상기 HF 희석용액을 용이하게 제거할 수 있도록 구성된 거치대;를 포함하는 도핑용 전기로의 가스공급용 니들의 클리닝 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 용액용기는,재질이 퀄츠(Quarts)이고, 원형의 단면을 갖는 원통인 것을 특징으로 하는 도핑용 전기로의 가스공급용 니들의 클리닝 장치
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제 1항에 있어서, 상기 거치대는,상기 클리닝 장치 전체를 지지하는 밑판과, 상기 밑판의 중앙에서 수직으로 형성되어 상기 용액용기를 고정하는 고정부가 장착되는 거치축과, 상기 용액용기를 삽입, 고정하는 하단고정부 및 중단고정부와,상기 중단고정부를 상기 거치축에 결합, 회전시키는 회전축를 포함하는 것을 특징으로 하는 도핑용 전기로의 가스공급용 니들의 클리닝 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.