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합금입자화박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015215560
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고체 기판 위에 만들어진 합금박막을 수증기를 함유한 수소혼합기체에서 열처리함으로써 합금의 제1원소가 선택적으로 산화되면서 막이 점차 불연속적으로 변하여 최종적으로 합금박막이 입자화하는 선택산화를 일으켜 합금박막에 높은 비저항을 갖는 절연층을 형성한 합금입자화박막 및 그 제조방법을 제공하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/58 (2006.01)
CPC C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01) C23C 14/58(2013.01)
출원번호/일자 1020120019990 (2012.02.28)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1379751-0000 (2014.03.25)
공개번호/일자 10-2013-0098452 (2013.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20140331) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장평우 대한민국 충청북도 청주시 상당구
2 신승찬 대한민국 충북 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 안세영 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 *** 비봉빌딩 *층(장백국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0160740-83
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0175927-64
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.08.17 수리 (Accepted) 4-1-2012-5174664-69
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.02.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.03.13 수리 (Accepted) 9-1-2013-0018982-60
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0543924-96
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0903716-04
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2013-1010316-77
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1010315-21
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175177-48
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0003477-02
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.02.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0104167-08
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0104169-99
14 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2014.02.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0098672-03
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-0044439-18
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.04.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5054173-55
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
고체 기판 상에 형성된 제1용질원소와 제2용질원소를 포함하는 합금박막에 대하여, 10℃로 유지되는 이온교환수를 통과한 100-2000SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)의 수소를 이슬점이 -17℃인 수소-수증기 혼합기체로 만든 후, 상기 혼합기체를 인가하며 상기 합금박막을 900℃로 100-200분 동안 열처리하여, 상기 합금박막에 포함된 상기 제1용질원소 및 제2용질원소 중 산소와 친화력이 더 큰 상기 제1용질원소의 일부가 선택적으로 산화되면서 상기 합금박막이 입자화되어, 상기 산화된 제1용질원소가 상기 입자화된 합금박막 및 상기 고체 기판 상에 절연층을 형성한 것을 특징으로 하는 합금입자화박막
2 2
제 1항에 있어서, 상기 제1용질원소는,실리콘(Si), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 타이타늄(Ti), 지르코늄(Zr)℃℃, 하프늄(Hf) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 합금입자화박막
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제2용질원소는,금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 니켈(Ni), 철(Fe), 구리(Cu), 코발트(Co), 아연(Zn), 주석(Sn), 바나듐(V) 및 망간(Mn) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 합금입자화박막
4 4
고체 기판 상에 형성된 제1용질원소와 제2용질원소를 포함하는 합금박막을 열처리부에 위치시키는 단계;상기 열처리부 및 배관을 질소로 퍼징하는 단계;10℃로 유지되는 이온교환수를 통과한 100-2000SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)의 수소를 이슬점이 -17℃인 수소-수증기 혼합기체로 만드는 단계; 및상기 혼합기체를 900℃로 유지되는 상기 열처리부에 인가하여 상기 합금박막을 100-200분 동안 열처리하는 단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 합금입자화박막 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 제1용질원소는,실리콘(Si), 알루미늄(Al), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 타이타늄(Ti), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 합금입자화박막 제조방법
6 6
제 4항에 있어서, 상기 제2용질원소는,금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 니켈(Ni), 철(Fe), 구리(Cu), 코발트(Co), 아연(Zn), 주석(Sn), 바나듐(V) 및 망간(Mn) 중 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 합금입자화박막 제조방법
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 청주대학교 일반연구자지원 연자성 금속자성분말용 고품위 절연피막 형성