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양자우물 구조 태양전지 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015215618
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지의 효율을 개선하기 위하여 p형 및 n형 Si 반도체 웨이퍼 상에 1~10 nm의 박막 절연층과 1~10 nm의 박막 반도체층을 연속적으로 형성시키는 양자우물 구조를 적정 사이클 수만큼(수~수십 사이클) 형성시킨 후, 이 양자우물 구조 위에 기판과 다른 타입의 반도체인 n형 및 p형 실리콘을 적정 두께로(0.1~1 mm) 에미터층을 형성하고, 그 후에 한가지 방식은 직접적으로 에미터층 위에 금속성 핑거 전극을 형성시키고 금속성 핑거 상에 반사방지막으로 SiNx층을 전면적으로 형성하는 방식과, 또 한가지 방식은 에미터층을 형성한 후에 반사방지막인 SiNx층을 형성시키고 그 위에 금속 핑거를 형성시키는 방식을 취할 수 있으며, 상기 반도체 웨이퍼 저면에 패시베이션막을 형성하고, 각각 p+층 및 n+층을 국부적으로 도핑시켜 후면전계를 형성시킴으로써, 태양광의 투과손실 저감과 태양광 단파장손실 저감시킴으로써 이론적 변환효율의 한계를 뛰어넘는 고효율 태양전지를 얻고, 제조원가를 절감시키는 실용 가능한 양자우물 구조 태양전지 및 그 제조 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 31/0216 (2014.01) H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120068180 (2012.06.25)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1461602-0000 (2014.11.07)
공개번호/일자 10-2014-0003718 (2014.01.10) 문서열기
공고번호/일자 (20141120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.25)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김광호 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 강세창 대한민국 서울 서초구 서초동 **** - ** 용빌딩 *층(명국제특허법률사무소)
2 원성수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**, ***호, ***호(문정동,문정법조프라자) (특허법인명)
3 박종경 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**, ***호, ***호(문정동,문정법조프라자) (특허법인명)
4 추혁 대한민국 경기도 화성시 동탄대로 ***-** 효성아이씨티타워 ****호(지엠국제특허)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0505289-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.17 수리 (Accepted) 4-1-2012-5174664-69
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.05.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0416859-23
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2013.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0562031-83
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0609004-32
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0904608-49
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0904580-59
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175177-48
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0148541-37
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0391811-57
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.04.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0391823-05
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2014.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0544135-45
13 등록결정서
Decision to grant
2014.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0666432-75
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-0044439-18
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5054173-55
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번호 청구항
1 1
p형 및 n형 중 어느 한 타입의 실리콘 기판 상에 1~10 nm의 박막 절연층과 1~10 nm의 박막 반도체층을 교대로 연속 형성시켜 양자우물층을 수~수십 사이클 수만큼 형성하는 과정;상기 양자우물층 위에 상기 기판과 다른 타입의 실리콘으로 에미터층을 형성하는 과정;상기 에미터층 위에 금속성 핑거 전극을 형성하는 과정;상기 금속성 핑거 상에 반사방지막으로 SiNx층을 전면에 형성하는 과정; 및상기 기판 저면에 패시베이션(Passivation)막을 형성하는 과정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 양자우물층을 형성하기 전에, 상기 실리콘 기판을 텍스처링(Texturing)하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지 제조 방법
3 3
p형 및 n형 중 어느 하나의 실리콘 기판 상에 1~10 nm의 박막 절연층과 1~10 nm의 박막 반도체층을 교대로 연속 형성시켜 양자우물층을 수~수십 사이클 수만큼 형성하는 과정;상기 양자우물층 위에 상기 기판과 다른 타입의 실리콘으로 에미터층을 형성하는 과정;SiNx로 반사방지막을 전면에 형성하는 과정;상기 반사방지막 위에 금속성 핑거 전극을 형성하고 열처리하여 상기 금속성 핑거 전극을 상기 에미터층에 접촉시키는 과정; 및상기 기판 저면에 패시베이션(Passivation)막을 형성하는 과정;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지 제조 방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 양자우물층을 형성하기 전에, 상기 실리콘 기판을 텍스처링(Texturing)하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지 제조 방법
5 5
p형 및 n형 중 어느 한 타입의 실리콘 기판 상에 1~10 nm의 박막 절연층과 1~10 nm의 박막 반도체층을 교대로 연속 형성시켜 수~수십 사이클 수만큼 형성된 양자우물층;상기 양자우물층 위에 상기 기판과 다른 타입의 실리콘으로 형성된 에미터층;상기 에미터층 위에 형성된 금속성 핑거 전극;상기 금속성 핑거 상 전면에 SiNx층으로 형성된 반사방지막; 및상기 기판 저면에 형성된 패시베이션(Passivation)막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
6 6
제 5항에 있어서, 상기 에미터층은,0
7 7
제 5항에 있어서, 상기 패시베이션막은,Al2O3막, Si3N4막, SiO2막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
8 8
제 5항에 있어서, 상기 패시베이션막에, 상기 기판과 동일한 타입의 고도핑층을 국부적으로 도핑시켜 후면전계;를 더 형성하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
9 9
p형 및 n형 중 어느 하나의 실리콘 기판 상에 1~10 nm의 박막 절연층과 1~10 nm의 박막 반도체층을 교대로 연속 형성시켜 수~수십 사이클 수만큼 형성된 양자우물층;상기 양자우물층 위에 상기 기판과 다른 타입의 실리콘으로 형성된 에미터층;상기 에미터층 전면에 SiNx로 형성된 반사방지막;상기 반사방지막 위에 형성되어 열처리에 의하여 상기 에미터층에 접촉되는 금속성 핑거 전극; 및상기 기판 저면에 형성된 패시베이션(Passivation)막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
10 10
제 9항에 있어서, 상기 에미터층은,0
11 11
제 9항에 있어서, 상기 패시베이션막은,Al2O3막, Si3N4막, SiO2막 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
12 12
제 9항에 있어서, 상기 패시베이션막에, 상기 기판과 동일한 타입의 고도핑층을 국부적으로 도핑시켜 후면전계;를 더 형성하는 것을 특징으로 하는 양자우물 구조 태양전지
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP27526894 JP 일본 FAMILY
2 TWI557930 TW 대만 FAMILY
3 US20160204291 US 미국 FAMILY
4 WO2014003326 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP2015526894 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 TW201405846 TW 대만 DOCDBFAMILY
3 TWI557930 TW 대만 DOCDBFAMILY
4 US2016204291 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2014003326 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 청주대학교 기본연구지원사업 실용 가능한 양자구조 고효율 실리콘 태양전지 개발