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비정질 에스아이오씨 박막 위에 형성된 투명전극을 갖는 태양전지

  • 기술번호 : KST2015215624
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 전극을 갖는 태양전지를 개시한다. 태양전지는 산화물 반도체층과 에스아이오씨(SiOC) 박막의 이중막 구조로 이루어진 투명전도막을 구비하며, 산화물 반도체층으로서 ZnO계열의 산화물 반도체인 AZO, ZTO, ITO, IGZO, Ag-ZnO로 이루어진 군에서 어느 하나 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다.본 발명은 에스아이오씨 박막과 산화물 반도체층의 이중막 구조로 투명전도막을 구성하고 에스아이오씨 박막의 비정질구조를 증가시킴으로써 그 위에 증착되는 산화물 반도체층의 결정성을 증가시킬 수 있어 태양전지의 효율을 높일 수 있다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/0224 (2006.01)
CPC H01L 31/022483(2013.01) H01L 31/022483(2013.01) H01L 31/022483(2013.01)
출원번호/일자 1020130029665 (2013.03.20)
출원인 청주대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1457794-0000 (2014.10.28)
공개번호/일자 10-2014-0115492 (2014.10.01) 문서열기
공고번호/일자 (20141105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.03.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 청원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오데레사 대한민국 충북 청주시 상당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 원성수 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**, ***호, ***호(문정동,문정법조프라자) (특허법인명)
2 박종경 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**, ***호, ***호(문정동,문정법조프라자) (특허법인명)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 청주대학교 산학협력단 충청북도 청주시 청원구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0239857-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.12.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-5175177-48
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.02.07 수리 (Accepted) 9-1-2014-0007431-13
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0205463-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2014-0491610-00
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0491618-64
8 등록결정서
Decision to grant
2014.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0627276-90
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-0044439-18
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.04.07 수리 (Accepted) 4-1-2017-5054173-55
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번호 청구항
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광전 변환층; 전면 전극과 후면 전극으로 이루어진 전극부; 및 상기 광전 변환층과 상기 전극부 사이에 접합된 투명전도막;을 포함하되,상기 투명전도막은 투명재질의 산화물 반도체층과 층간 절연막으로서 저 유전상수의 에스아이오씨 박막을 적층한 이중막 구조로 이루어지고,상기 투명전도막은 유도결합 화학기상증착 방법(ICP-CVD)을 이용하여 상기 에스아이오씨 박막을 증착하고, 고주파 마그네트론 스퍼터에 의한 스퍼터링 방법을 이용하여 상기 에스아이오씨 박막 위에 아연 및 알루미늄 산화물(AZO) 박막을 증착하되,상기 에스아이오씨 박막 증착을 위해 반응 챔버의 내부로 캐리어 가스로서 Ar(아르곤)과 소스 가스로서 dimethyldimethoxysilane(DMDMOS, 디메토옥시레인)을 산소와 혼합하여 공급하고, 상기 Ar 가스의 함량 증가에 대응한 상기 에스아이오씨 박막의 비정질성 증대에 따라 상기 아연 및 알루미늄 산화물(AZO) 박막의 결정성이 커지는 것을 특징으로 하는 투명 전극을 갖는 태양전지
2 2
제1항에 있어서, 상기 광전 변환층은 P형 반도체층과 N형 반도체층으로 이루어지고,상기 산화물 반도체층은 ZnO계열의 산화물 반도체인 AZO, ZTO, IGZO, Ag-ZnO로 이루어진 군에서 선택되는 어느 하나의 물질 또는 이들의 조합으로 이루어진 투명 전극을 갖는 태양전지
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 Ar 가스와 산소의 함량 비율은(Ar:O2)은 전체 유량에 대한 일정 범위[3:7 ~ 8:2]에서 설정하는 것을 특징으로 하는 투명 전극을 갖는 태양전지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 청주대학교 일반연구자지원 실리콘 셀에서 재결합 감소를 위한 금속/SiOC 박막의 계면특성에 관한 연구