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GaAs 잉곳 제조장치

  • 기술번호 : KST2015216143
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 LEC 공정 중 온도구배가 작아질 수 있도록 구조가 개선된 GaAs 잉곳 제조장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 GaAs 잉곳 제조장치는 내부에 공간부가 형성되어 있는 결정성장로와, 공간부에 회전 가능하게 설치되며, 원료가 수용되는 반응 용기와, 반응 용기를 감싸도록 배치되며, 반응 용기를 가열하는 저항 히터와, 저항 히터를 감싸도록 배치되며, 저항 히터를 포함하는 영역을 단열하는 단열유닛을 포함하되, 단열유닛은, 중공의 원통 형상으로 형성되며, 저항 히터를 감싸도록 배치되는 본체와, 원형의 고리 형상으로 형성되며, 본체의 상단부에 결합되는 상부 배플과, 원형의 고리 형상으로 형성되며, 상기 본체의 하단부에 결합되는 하부 배플을 포함한다.
Int. CL C30B 29/42 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 15/00 (2006.01)
CPC C30B 15/002(2013.01) C30B 15/002(2013.01) C30B 15/002(2013.01)
출원번호/일자 1020110013132 (2011.02.15)
출원인 가톨릭관동대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1303130-0000 (2013.08.28)
공개번호/일자 10-2012-0093520 (2012.08.23) 문서열기
공고번호/일자 (20130909) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.02.15)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 가톨릭관동대학교산학협력단 대한민국 강원도 강릉시 범일로**

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최규만 대한민국 강원도 양양군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 가톨릭관동대학교산학협력단 강원도 강릉시 범일로**
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0106173-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.06.25 수리 (Accepted) 9-1-2012-0051865-11
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0043114-36
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0249034-11
6 보정요구서
Request for Amendment
2013.04.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0034233-07
7 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2013.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0280635-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0351135-39
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0351146-31
10 등록결정서
Decision to grant
2013.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0585110-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.18 수리 (Accepted) 4-1-2014-5110971-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.04.25 수리 (Accepted) 4-1-2016-5050903-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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내부에 공간부가 형성되어 있는 결정성장로;상기 공간부에 회전 가능하게 설치되며, 원료가 수용되는 반응 용기;상기 반응 용기를 감싸도록 배치되며, 상기 반응 용기를 가열하는 저항 히터; 및이방성 흑연 재질로 이루어져 상기 저항 히터를 감싸도록 배치되며, 상기 저항 히터를 포함하는 영역을 단열하는 단열유닛;을 포함하되,상기 단열유닛은,중공의 원통 형상으로 형성되며, 상기 저항 히터를 감싸도록 배치되는 본체와,원형의 고리 형상으로 형성되며, 상기 본체의 상단부에 결합되는 상부 배플과,고리 형상으로 형성되어 상기 본체의 하단부에 결합되되, 상측에서 하측으로 갈수록 직경이 감소하도록 형성되는 하부 배플을 포함하며,상기 본체는,원통 형상으로 형성되는 외측벽과,원통 형상으로 형성되며, 상기 외측벽의 내부에 배치되는 내측벽과,상기 외측벽의 상단과 상기 내측벽의 상단을 연결하는 상측연결부와,상기 외측벽의 하단과 상기 내측벽의 하단을 연결하는 하측연결부를 가지는 것을 특징으로 하는 GaAs 잉곳 제조장치
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 관동대학교 산학협력단 지역혁신센터 첨단해양공간개발연구센터