맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

펄스 레이저를 이용한 박막 증착 장치

  • 기술번호 : KST2015216727
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 증착 시료 타겟으로부터 기화된 시료 물질이 열에너지를 간직한 상태로 기판에 증착되도록 열벽로를 설치함으로써 완전한 단결정 박막을 성장시킬 수 있도록 하는 박막 증착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.이러한 목적은, 내부가 진공 상태로 유지되며 그 상부면에는 수정 유리창이 구비된 챔버의 내부에 증착 시료 타겟이 장착되고,외부에 설치된 펄스 레이저가 상기 수정 유리창을 통해 증착 시료 타겟에 펄스 레이저를 조사하여 시료를 증발시키게 되어 그 증발된 시료가 진공 중에 확산되어 기판 상에 단결정 박막을 성장시키도록 구성되며,원통형의 구조를 가지고 그 외측에 열선이 권취된 열 벽로의 내부에 상기 기판이 장착되며, 상기 열 벽로는 증착 시료 타겟의 전방에서 근접하여 설치됨으로써 상기 증착 시료 타겟으로부터 기화된 입자가 기판쪽으로 이동시 열에너지를 유지하도록 하며,상기 기판의 온도를 열 벽로의 온도보다 낮추기 위한 온도 조절 수단 및 상기 기판 상에 균일한 단결정 박막을 형성하기 위하여 기판을 회전시키는 회전 수단으로 구성됨으로써 달성된다.펄스 레이저(:355nm, 53nm,1064nm의 파장과 3.0J/cm^2의 에너지 밀도를 갖는 Nd: YAG 펄스 레이저(Pulsed laser); Quantel Brilliant B ) 박막 증착법, 단결정 박막, 박막 제조 기술, 안정성, 재현성, 신뢰성, 전자부품,진공도(: 10^-6 mmHg)
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/28(2013.01)
출원번호/일자 1020010064981 (2001.10.22)
출원인 학교법인조선대학교
등록번호/일자 10-0466825-0000 (2005.01.07)
공개번호/일자 10-2003-0034294 (2003.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20050124) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2001.10.22)
심사청구항수 1

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 학교법인조선대학교 대한민국 광주 동구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 홍광준 대한민국 광주광역시 동구
2 유상하 대한민국 광주광역시북구
3 정준우 대한민국 광주광역시동구
4 백형원 대한민국 광주광역시동구
5 문종대 대한민국 광주광역시서구
6 박창선 대한민국 광주광역시남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 원은섭 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동,조광빌딩)(예원국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 학교법인조선대학교 대한민국 광주 동구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2001.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2001-0269807-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2003.07.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2003.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2003-0033392-94
4 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2003.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2003-0319725-71
5 보정통지서
Request for Amendment		 2003.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2003-0056996-73
6 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2003.10.08 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2003-0375779-27
7 반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2003.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2003-0071343-87
8 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2003.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2003-0477409-19
9 반려통지서
Notice for Return		 2003.12.24 수리 (Accepted) 1-5-2003-0081725-04
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0120265-40
11 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2004.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2004-0212002-94
12 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-5097945-30
13 대리인 변경 신고서
Agent change Notification		 2004.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-0285062-12
14 의견서
Written Opinion		 2004.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2004-5097944-95
15 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0340229-11
16 의견서
Written Opinion		 2004.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2004-0480081-43
17 등록결정서
Decision to grant		 2004.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0554577-92
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.04.13 수리 (Accepted) 4-1-2010-5064344-93
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189505-24
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.19 수리 (Accepted) 4-1-2011-5189510-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

내부가 진공 상태로 유지되며 그 상부면에는 수정 유리창이 구비된 챔버의 내부에 증착 시료 타겟이 장착되고,

외부에 설치된 펄스 레이저가 상기 수정 유리창을 통해 증착 시료 타겟에 펄스 레이저를 조사하여 시료를 증발시키게 되며, 그 증발된 시료가 진공 중에 확산되도록 함으로써 기판 상에 단결정 박막을 성장시키도록 구성되며,

원통형의 구조를 가지고 그 외측에 열선이 권취된 열 벽로의 내부에 상기 기판이 장착되며, 상기 열 벽로는 증착 시료 타겟의 전방에 근접하여 설치됨으로써 상기 증착 시료 타겟으로부터 기화된 입자가 기판쪽으로 이동시 열에너지를 유지하도록하며,

상기 기판의 온도를 열 벽로의 온도보다 낮추기 위한 온도 조절 수단, 및 상기 기판 상에 균일한 단결정 박막을 형성하기 위하여 기판을 회전시키는 회전 수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 펄스 레이저를 이용한 박막 증착 장치

2 2

삭제
3 3

삭제
4 4

삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.