| 요약 |
① 발명에 속한 기술분야 레이저를 이용한 초미세 위치제어기술은 초정밀 위치결정의 최첨단 나노테크날로지의 한 분야이다.② 발명의 목적 초정밀 위치결정 기구는 정밀 가공기, 정보기기, 계측기기, 반도체 제조장치 등의 각종 산업기기에 있어 중요한 장치로 많이 이용되고 있다. 현재는 각 분야에서 고정도가 요구되고 있어 이에 대응할 수 있는 고 정밀 미동제어 위치결정 기구에 대한 필요성이 대두되고 있다. 이러한 초정밀 위치결정 제어를 하기위해 레이저를 이용하여 피드백 시스템을 구성하고, 반도체 제조장비 및 초정밀 가공기에 장착하여 초정밀 위치제어를 하기 위한 것 발명의 목적이다. ③ 발명의 구성 초정밀 위치결정기구의 고속, 대 스트로크 이동을 위해 AC Servo Motor와 Lead Screw System을 이용하고 아주 미세한 이동을 하기위해 PZT(Piezo Actuator)와 힌지를 이용한다. 그리고 변위 피드백은 레이저 인테페로메터를 이용하여 변위를 측정하고 이를 실시간으로 피드백 한다. 이렇게 두 개의 다른시스템을 응용하여 서브 미크론의 빠르고 정밀한 위치제어를 실현하고자 한다.④ 발명의 효과 기존의 위치결정 시스템은 한 개의 시스템만을 이용하여 빠르고 아주 미세한 운동은 시현하지 못했다. 볼스크류와 서보 모터를 이용한 시스템과 리니어모터를 이용 시스템 등은 본 기술에서 제한한 위치결정정도는 실현할수 없다. 따라서 본 기술로서 반도체 분야의 초정밀 스테이지 설계 및 제작기술 방안 확립과 액츄에이터 제작 및 활용기술과 정밀조립 및 베어링 설계기술의 향상도모하고, 미세가공분야에 적합한 위치결정기구의 설계 기술력 확보가 가능하며, 반도체 제조 및 검사장비용 스테이지 설계요건 강화될 것이다.초정밀 위치제어, 레이저 피드백, PID 제어기, 연동제어, Dual Servo, Lead Screw, 압전소자, Servo Motor
|
