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내부에 종자정과 단결정 원료가 마련되는 단결정 원료 도가니;상기 단결정 원료 도가니와 연결되고, 내부에 불순물이 마련되는 불순물 도가니; 및상기 단결정 원료 도가니 및 상기 불순물 도가니의 외부에 각각 형성된 제 1 및 제 2 가열 수단을 포함하고,상기 제 1 및 제 2 가열 수단은 서로 이격되어 독립적으로 작동되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 1에 있어서,상기 제 1 및 제 2 가열 수단은 고주파 유도 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 불순물 도가니로부터 상기 단결정 원료 도가니로 상기 불순물 가스를 이송하기 위한 불순물 가스 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 3에 있어서,상기 단결정 원료 도가니는 상기 불순물 도가니의 상부에 구비되고, 상기 불순물 가스 공급관은 상기 불순물 도가니의 상면으로부터 상기 단결정 원료 도가니의 하면을 관통하여 내부 공간으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 불순물 도가니의 내부로 캐리어 가스를 주입하기 위한 캐리어 가스 공급관을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 5에 있어서,상기 캐리어 가스 공급관은 상기 불순물 도가니의 외부로부터 상기 불순물 도가니의 하면을 관통하여 내부 공간으로 연장 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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7
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 도가니를 둘러싸는 단열재; 및상기 단열재 외부를 둘러싸는 냉각용 이중 석영관을 더 포함하고,상기 이중 석영관 외부에 상기 가열 수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 도가니의 상부 또는 하부에 온도 측정 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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9
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 단결정 원료 도가니는 다공성 흑연인 뚜껑을 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 장치
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10
상면에 종자정이 부착되고 그 내부에 단결정 원료가 장입된 단결정 원료 도가니를 마련하는 단계;상기 단결정 원료와 연결되고 내부에 불순물이 장입된 불순물 도가니를 마련하는 단계; 및상기 단결정 원료 도가니와 상기 불순물 도가니를 독립적으로 가열함으로써 단결정 원료와 불순물을 동시에 승화시켜 상기 종자정 상에 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 단결정 성장 방법
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11
청구항 10에 있어서,상기 단결정을 성장시키는 단계는,대기압을 유지하며 상기 단결정 원료 도가니를 성장 온도로 가열하는 단계;성장 압력으로 감압하며 동시에 상기 불순물 도가니를 가열하여 상기 불순물을 승화시키는 단계; 및상기 종자정 상에 승화된 단결정 원료 가스와 불순물 가스를 반응시켜 재결정화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 방법
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12
청구항 11에 있어서,상기 불순물을 승화시키는 단계 이후에,승화된 불순물 가스를 상기 단결정 원료 도가니로 이송하는 캐리어 가스를 주입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 방법
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청구항 10에 있어서,비반응 가스를 이용하여 상기 도가니 내부를 퍼징하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장 방법
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