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중앙부에 개구부를 가지며, 테두리를 따라 냉매 이동관을 삽입하기 위한 상부 삽입홈이 형성된 상부 웨이퍼 클램프;상기 상부 웨이퍼 클램프와 대응되는 형상으로 이루어지고, 상기 상부 삽입홈에 대응되는 하부 삽입홈이 형성된 하부 웨이퍼 클램프;상기 상부 삽입홈 및 하부 삽입홈에 삽입되어 상기 상부 웨이퍼 클램프 및 상기 하부 웨이퍼 클램프를 냉각시키기 위한 냉매가 순환하는 냉매 이동관; 및 상기 상부 웨이퍼 클램프와 하부 웨이퍼 클램프를 결합하기 위한 결합수단;을 포함하며, 상기 상부 삽입홈 및 하부 삽입홈은 상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프의 일측에 각각의 상부, 하부 유입구 및 상부, 하부 유출구를 포함하며, 상기 상부 삽입홈 및 하부 삽입홈의 모양은 웨이퍼 플랫존 하측에서 직선형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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제 1항에 있어서, 상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프는 환판형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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제 1항에 있어서,상기 상부 삽입홈 및 하부 삽입홈의 모양은 웨이퍼 플랫존 하측에서, 직선형에 나선 굴절이 결합 된 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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제 1항에 있어서,상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프의 재질은 세라믹, 석영(quartz), 금속 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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제 7항에 있어서,상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프의 재질이 금속일 경우, 상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프의 표면을 양극처리(anodizing) 하는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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9
제 1항에 있어서,상기 결합수단은 상기 상부 웨이퍼 클램프 및 하부 웨이퍼 클램프에 형성된 결합홀과, 상기 결합홀에 결합되는 결합부재인 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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10
제 9항에 있어서,상기 결합홀은 암나사가 형성되며, 상기 결합부재는 상기 결합홀에 체결가능한 볼트인 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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11
제 1항에 있어서,상기 냉매 이동관은 냉매 공급장치로부터 상기 냉매를 공급받는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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제 1항에 있어서,상기 냉매는 냉각수 또는 냉각 가스 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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13
제 1항에 있어서, 상기 상부 웨이퍼 클램프는 테두리 상측에 웨이퍼 클램프의 균형을 시각적으로 확인할 수 있는 수평계를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각장치가 구비된 웨이퍼 클램프
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