맞춤기술찾기

이전대상기술

반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치

  • 기술번호 : KST2015217123
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 전기 도금용 장치에 보조적인 웨이퍼 홀더 장치를 거치하여 웨이퍼(기판)를 고정해주는 장치에 관한 것으로, 웨이퍼(기판)를 고정하고, 웨이퍼(기판) 크기에 따라 상이한 길이를 가지며, 웨이퍼(기판) 크기에 따라 교체 장착 하는 금속 전극, 웨이퍼(기판)와 결합하는 웨이퍼(기판) 거치 홈 및 웨이퍼(기판) 거치 홈과 이어져 금속 전극 폭에 대응되게 생성된 전극 거치 홈을 포함하는 홀더 기판, 전극 거치 홈에 위치하고, 금속 전극과 홀더 기판을 결합하는 전극 결합 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.나아가, 웨이퍼(기판)를 고정하는 전극은 전극 팁을 더 포함하고 있는데, 전극 팁은 전극 끝 부분에 위치하며, 집게 또는 클립 형태로 이루어져 있고, 하방으로 절곡되어 웨이퍼(기판)를 압박하여 고정해준다.또한, 금속 전극은 전극 결합 부재의 지름과 대응되는 폭을 가지고 수평 또는 수직의 길이 방향으로 장공을 포함하거나, 전극 팁이 구성되어 있는 전극 측면에 전극 팁을 수용하는 팁 수용 홈을 포함함으로써 전극의 길이를 조절하여 웨이퍼(기판)를 고정하면서 웨이퍼(기판)와 접촉한다.
Int. CL H01L 21/683 (2006.01) H01L 21/288 (2006.01)
CPC H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01) H01L 21/68785(2013.01)
출원번호/일자 1020110075575 (2011.07.29)
출원인 (재)한국나노기술원
등록번호/일자 10-1286254-0000 (2013.07.09)
공개번호/일자 10-2013-0013779 (2013.02.06) 문서열기
공고번호/일자 (20130715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.29)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 허종곤 대한민국 경기도 용인시 수지구
2 김영조 대한민국 경기도 수원시 팔달구
3 우종창 대한민국 인천광역시 남구
4 전동환 대한민국 경기도 용인시 수지구
5 박원규 대한민국 서울특별시 서초구
6 고철기 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 경기도 수원시 영통구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0587142-03
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0041157-61
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.12 수리 (Accepted) 4-1-2012-5149774-07
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.11.06 수리 (Accepted) 9-1-2012-0083304-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0030862-65
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0224022-33
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0224066-31
9 등록결정서
Decision to grant
2013.04.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0239082-59
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5087922-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼(기판)를 고정하고, 상기 웨이퍼(기판) 크기에 따라 상이한 길이를 가지고, 상기 웨이퍼(기판) 크기에 따라 교체 장착하는 것으로서, 끝 부분에 집게 또는 클립 형태의 전극 팁을 포함하며, 상기 전극 팁은 측면에 형성된 팁 수용 홈에 출입함으로써, 상기 웨이퍼(기판)의 길이에 따라 길이가 조절되도록 형성된 금속 전극;상기 웨이퍼(기판)와 결합하는 웨이퍼(기판) 거치 홈 및 상기 웨이퍼(기판) 거치 홈과 이어져 상기 금속 전극 폭에 대응되게 생성된 전극 거치 홈을 포함하는 홀더 기판; 및상기 전극 거치 홈에 위치하고, 상기 금속 전극과 상기 홀더 기판을 결합하는 전극 결합 부재;를 포함하고 있는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 팁 수용 홈은,내부 측면에 톱니 형상의 팁 고정부를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 전극 팁은 하방으로 절곡되어 상기 웨이퍼(기판) 거치 홈에 결합한 상기 웨이퍼(기판)를 누름 고정 및 접촉하는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 금속 전극은,1인치 내지 5인치의 길이를 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
7 7
제 1항에 있어서, 상기 금속 전극은,수평 또는 수직의 길이 방향으로 장공을 포함하여 상기 웨이퍼(기판) 크기에 따라 슬라이딩 방식으로 길이를 조절하는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
8 8
제 7항에 있어서, 상기 장공은,상기 전극 결합 부재의 지름과 대응되는 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
9 9
제 1항에 있어서, 상기 홀더 기판은,표면이 절연물질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
10 10
제 1항에 있어서, 상기 금속 전극은,상기 전극 팁 경계부터 상기 전극 결합 부재까지 표면이 절연물질로 코팅되는 것을 특징으로 하는 반도체 전기 도금용 웨이퍼 홀더 보조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 경기도 나노소자특화팹센터 경기도 기술개발사업 친환경 차세대 태양전지 개발