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원형 트레이 중심부와, 상기 트레이 중심부 둘레에 형성되는 도넛형 트레이 몸체로 이루어지며, 하부에서 공급되는 저온의 가스를 웨이퍼와 웨이퍼커버에 전달할 수 있는 관통홀이 형성되는 트레이와, 상기 트레이 몸체 상부 원주면을 따라 원형으로 형성되는 오링 수용홈 및 상기 오링 수용홈을 따라 결합 및 고정되고, 상기 웨이퍼커버의 하부와 접촉하는 오링을 포함하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치에 있어서,상기 관통홀은,상기 트레이 중심부 및 몸체를 관통하여 형성되며, 상기 트레이 중심부의 외주연을 따라 등간격으로 형성되고, 상기 트레이 몸체의 내주연과 외주연 사이에서 원형으로 형성되며, 상기 오링 수용홈과 중복되지 않는 영역에서 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 트레이 중심부에 형성되는 상기 관통홀 간격이, 상기 트레이 몸체에 형성되는 상기 관통홀의 간격보다 더 조밀하게 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 관통홀은 다각형 또는 원형 중 어느 하나 이상의 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 오링 수용홈은 상기 트레이 몸체 상부 내주연과 외주연 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서, 상기 오링 수용홈은 상기 트레이 상부면과 상기 웨이퍼커버 하부면에 대칭적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 오링 수용홈은 상기 오링 측면부 높이의 1/5 내지 1/2이 수용될 수 있는 깊이로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 오링 수용홈은 상기 트레이 몸체를 따라 하나 이상의 원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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제 1항에 있어서,상기 가스의 종류는 아르곤, 헬륨, 또는 질소 중 어느 하나 이상의 가스인 것을 특징으로 하는 가스를 이용한 웨이퍼 및 웨이퍼커버 냉각장치
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