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격자 불일치 전위 극복 광소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015217131
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임의의 기판 위에 버퍼를 사용하는 경우, 격자 결함이 많이 형성되는 영역에 터널 다이오드를 형성하여 격자 결함으로 인한 소자 성능 저하를 최소화할 수 있는 광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 광소자는 기판과, 상기 기판 상에 형성되며, 상기 기판과 격자 상수의 차이가 있어 격자 불일치 전위(misfit dislocation)를 포함하는 박막과, 상기 격자 불일치 전위 영역이 저항으로만 동작하도록 상기 격자 불일치 전위를 포함하는 박막의 상부에 형성되는 터널 다이오드와, 상기 터널 다이오드 상부에 형성되는 소자층과, 상기 기판의 하부에 형성되는 하부 전극과, 상기 소자층 상에 형성된 상부 전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 33/02 (2010.01) H01L 31/042 (2014.01) H01L 31/02 (2006.01) H01L 31/06 (2006.01)
CPC H01L 31/125(2013.01) H01L 31/125(2013.01) H01L 31/125(2013.01) H01L 31/125(2013.01)
출원번호/일자 1020120057159 (2012.05.30)
출원인 (재)한국나노기술원
등록번호/일자 10-1441634-0000 (2014.09.11)
공개번호/일자 10-2013-0133983 (2013.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140924) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전동환 대한민국 경기 용인시 수지구
2 김영조 대한민국 경기 수원시 팔달구
3 허종곤 대한민국 경기 용인시 수지구
4 박원규 대한민국 서울 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 경기도 수원시 영통구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2012-0431266-21
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.12 수리 (Accepted) 4-1-2012-5149774-07
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0062145-48
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0788378-90
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0056519-16
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0157538-64
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0258991-14
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0361365-47
10 등록결정서
Decision to grant
2014.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0586318-13
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5087922-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성되며, 상기 기판과 격자 상수의 차이가 있어 격자 불일치 전위(misfit dislocation)를 포함하는 박막; 상기 격자 불일치 전위 영역이 저항으로만 동작하도록 상기 격자 불일치 전위를 포함하는 박막의 상부에 형성되는 터널 다이오드; 상기 터널 다이오드 상부에 형성되는 소자층; 상기 기판의 하부에 형성되는 하부 전극; 및 상기 소자층 상에 형성된 상부 전극;을 포함하여 이루어진 광소자
2 2
청구항 1에 있어서,상기 터널 다이오드의 상부 또는 하부에 버퍼층이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 광소자
3 3
청구항 1에 있어서,상기 소자층 하부에 버퍼층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자
4 4
청구항 1에 있어서,상기 기판은 4족, 3-5족, 2-6족 원소의 화합물을 포함하는 그룹으로부터 선택되는 1종 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광소자
5 5
청구항 1에 있어서,상기 소자층은 태양광의 파장 대역을 흡수하는 광흡수층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 소자층은 엘이디 또는 엘디의 파장 대역을 발광하는 광발광층을 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자
7 7
청구항 1에 있어서,상기 기판은 Si 기판으로 이루어지고, 상기 박막은 Ge를 포함한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 광소자
8 8
청구항 1에 있어서,상기 기판은 Si 기판으로 이루어지고, 상기 박막은 3-5족 원소를 포함한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 광소자
9 9
청구항 1에 있어서,상기 소자층은 태양전지 셀층으로 이루어지며, 상기 태양전지 셀층은 단일접합 또는 다중접합으로 이루어진 광소자
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 소자층 상부에 제n 터널 다이오드가 형성되고, 상기 제n 터널 다이오드 상부에 제n 소자층이 형성되고, 상기 제n 소자층 상부에 제n+1 터널 다이오드가 형성되고, 상기 제n+1 터널 다이오드 상부에 제n+1 소자층이 형성되어 다중접합을 이루며, 상기 n은 2 이상의 정수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광소자
11 11
기판, 상부전극 및 하부전극을 포함하는 광소자를 제조하는 방법에 있어서, 상기 기판과 격자 상수의 차이가 있어 격자 불일치 전위(misfit dislocation)를 포함하는 박막 상부에 터널 다이오드를 형성하는 단계; 및 상기 터널 다이오드 상부에 소자층을 형성하는 단계;를 포함하는 광소자 제조방법
12 12
청구항 11에 있어서,상기 터널 다이오드의 상부 또는 하부에 버퍼층을 형성하는 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 광소자 제조방법
13 13
청구항 11에 있어서,상기 소자층 하부에 버퍼층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자 제조방법
14 14
청구항 11에 있어서, 상기 소자층은 태양전지 셀층으로 이루어지며, 상기 소자층 상부에 제n 터널 다이오드가 형성되고, 상기 제n 터널 다이오드 상부에 제n 소자층이 형성되고, 상기 제n 소자층 상부에 제n+1 터널 다이오드가 형성되고, 상기 제n+1 터널 다이오드 상부에 제n+1 소자층이 형성되어 다중접합을 이루며, 상기 n은 2 이상의 정수로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광소자 제조방법
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