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마스터 기판 상에 패턴이 형성되어 있는 임프린트 스탬프를 준비하는 단계;상기 임프린트 스탬프 상에 그래파이트(graphite)화 촉매를 포함하는 금속막을 형성하는 단계;상기 금속막이 형성된 임프린트 스탬프 상에 그래핀(graphene)을 형성하는 단계; 및상기 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 임프린트 방법을 이용하여 소자 제작용 기판 상에 전사하여 그래핀 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 그래핀을 형성하는 단계는, 비결정상 탄소 물질을 상기 금속막과 접촉시켜 불활성 분위기 하에서 300 ~ 2000 ℃에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 그래핀을 형성하는 단계는, 반응 가스로 탄소 함유 가스를 사용하고, 300 ~ 2000 ℃의 온도에서 0
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제4항에 있어서, 상기 탄소 함유 가스가 일산화탄소, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 프로필렌, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠 및 톨루엔으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제1항 또는 제3항 내지 제5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 임프린트 스탬프 상에 형성된 그래핀을 임프린트 방법을 이용하여 소자 제작용 기판 상에 전사하여 그래핀 패턴을 형성하는 단계는,상기 그래핀이 형성된 임프린트 스탬프를 상기 소자 제작용 기판 상에 접촉시킨 후 전기장을 걸어주는 단계; 및상기 전기장을 걸어줌과 동시에 혹은 순차적으로 상기 임프린트 스탬프를 상기 소자 제작용 기판으로부터 떼어내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제7항에 있어서, 상기 전기장을 걸어주는 단계의 전압 세기를 조절하여 상기 소자 제작용 기판 상에 전사되는 그래핀 패턴의 층수를 제어하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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마스터 기판 상에 패턴이 형성되어 있는 임프린트 스탬프를 준비하는 단계;상기 임프린트 스탬프 상에 그래파이트(graphite)화 촉매를 포함하는 금속막을 형성하는 단계;상기 금속막이 형성된 임프린트 스탬프 상에 그래핀(graphene)을 형성하는 단계;상기 그래핀이 형성된 임프린트 스탬프 상에 폴리머를 캐스팅하고 상기 금속막을 제거하여 상기 그래핀을 포함하는 폴리머 몰드를 제조하는 단계; 및상기 폴리머 몰드에 포함된 상기 그래핀을 임프린트 방법을 이용하여 소자 제작용 기판 상에 전사하여 그래핀 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제9항에 있어서, 상기 그래핀을 형성하는 단계는, 비결정상 탄소 물질을 상기 금속막과 접촉시켜 불활성 분위기하에서 300 ~ 2000 ℃에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제9항에 있어서, 상기 그래핀을 형성하는 단계는, 반응 가스로 탄소 함유 가스를 사용하고, 300 ~ 2000 ℃의 온도에서 0
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제12항에 있어서, 상기 탄소 함유 가스가 일산화탄소, 에탄, 에틸렌, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 프로필렌, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜텐, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠 및 톨루엔으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제9항 또는 제11항 내지 제13항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 폴리머 몰드에 포함된 상기 그래핀을 임프린트 방법을 이용하여 소자 제작용 기판 상에 전사하여 그래핀 패턴을 형성하는 단계는,상기 폴리머 몰드를 상기 소자 제작용 기판 상에 접촉시킨 후 전기장을 걸어주는 단계; 및상기 전기장을 걸어줌과 동시에 혹은 순차적으로 상기 폴리머 몰드를 상기 소자 제작용 기판으로부터 떼어내는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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제15항에 있어서, 상기 전기장을 걸어주는 단계의 전압 세기를 조절하여 상기 소자 제작용 기판 상에 전사되는 그래핀 패턴의 층수를 제어하는 것을 특징으로 하는 그래핀 패턴 형성 방법
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