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육불화황과 아세틸렌 가스유량들의 주기적 교차주입에 의한 기하구조가 제어된 마이크로 및 나노 탄소코일의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015217643
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄소코일 제조 시 육불화황 및 아세틸렌 가스를 주기적으로 교차주입시켜 세라믹 기판에 기하구조가 제어된 마이크로/나노 탄소코일을 합성하여 성장시키는 육불화황과 아세틸렌 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법에 관한 것으로, 화학기상 증착 장비를 이용하여 세라믹 기판 위에 탄소코일을 합성하여 성장시키는 방법에 있어서, 상기 탄소코일의 합성 시 육불화황(SF6), 아세틸렌(C2H2) 및 수소(H2) 가스를 챔버 내에 주입하되, 상기 육불화황 가스와 아세틸렌 가스를 설정된 주기로 번갈아가면서 교차주입하여, 탄소코일의 형상, 길이 및 기하구조를 제어하는 육불화황과 아세틸렌 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법을 제공한다.
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/26 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01)
출원번호/일자 1020120094284 (2012.08.28)
출원인 신라대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1388464-0000 (2014.04.17)
공개번호/일자 10-2014-0029570 (2014.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20140423) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사상구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성훈 대한민국 경남 양산시
2 안성일 대한민국 부산 연제구
3 박세미 대한민국 부산 북구
4 이동진 대한민국 대전 서구
5 박중학 대한민국 대전 유성구
6 권태원 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나동규 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)(특허법인오암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산지역대학연합기술지주 주식회사 부산광역시 해운대구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0692387-46
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0766014-01
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2012-1012250-64
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0826646-13
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-0049046-57
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0049002-59
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0209847-67
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5020091-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
화학기상 증착 장비를 이용하여 세라믹 기판 위에 탄소코일을 합성하여 성장시키는 방법에 있어서, 상기 탄소코일의 합성 시 육불화황(SF6), 아세틸렌(C2H2) 및 수소(H2) 가스를 챔버 내에 주입하되, 주입 가스 중 수소(H2) 가스를 지속적으로 주입하고 상기 육불화황 가스와 아세틸렌 가스를 설정된 주기로 번갈아가면서 교차주입하여, 탄소코일의 형상, 길이 및 기하구조를 제어하는 육불화황과 아세틸렌 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 교차주입 시, 상기 육불화황 또는 아세틸렌 중 어느 하나 이상의 1회 주입시간은 5초 이상 90분 이하로 조절하는 육불화황과 아세틸렌 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 교차주입 시, 교차주입 반복 횟수는 1회 이상 50회 이하로 조절하는 육불화황과 아세틸렌 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 신라대학교 산학협력단 지식경제 기술혁신사업 위탁사업 [WPM사업] 고조파 전자파 흡수용 탄소나노/마이크로 코일 소재 개발
2 중소기업청 신라대학교 산학협력단 산학연공동기술개발사업 (전국 과제) 나노금속-탄소복합체를 이용한 전자파 차폐용 고분자 복합 소재 개발