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화학기상 증착장비를 이용하여 기판 상에 마이크로 탄소코일을 제조하는 방법에 있어서, 챔버 내에 50~400 메쉬를 갖는 메쉬-타입의 스텐리스 기판을 장착하는 단계, 상기 챔버 내에 장착된 메쉬-타입의 스텐리스 기판을 일정 온도로 가열하고, 탄화수소가스, 수소가스, 육불화황 가스를 일정 속도로 챔버 내로 주입하는 단계, 상기 탄화수소가스와 수소가스는 지속적으로 주입하고 육불화황 가스 주입시간은 스텐리스 기판의 메쉬 크기에 연동하여 주입종점을 조절하는, 상기 챔버 내에서 메쉬-타입 스텐리스 기판 상에 마이크로 탄소코일을 형성하는 단계 및 성장하는 단계;를 포함하는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 기판을 가열하는 온도는 700~800℃인 것에 특징이 있는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 탄화수소가스는 아세틸렌가스인 것에 특징이 있는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 메쉬 크기가 150~400 메쉬인 스텐리스 기판은 육불화황 가스를 15~60분 동안 주입하는 것에 특징이 있는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 메쉬 크기가 50 이상 150 메쉬 미만인 스텐리스 기판은 10~60분 동안 육불화황 가스를 주입하는 것에 특징이 있는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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청구항 6 또는 7에 있어서,상기 탄소코일은 스텐리스 기판에 직접 생성되는 것에 특징이 있는, 촉매 없이 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법
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