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육불화황(SF6) 가스를 이용하여 기하학적으로 조절된 마이크로 또는 나노크기의 탄소코일의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015217664
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 육불화황(SF6) 가스 주입시간을 조절하여 기하학적으로 조절이 가능한 재현성 있고 생산수율이 높은 마이크로 또는 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)의 제조 방법에 관한 것이다. 이를 더욱 상세하게 설명하면, 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)을 열화학기상증착법(thermal chemical vapor deposition system, TCVD)으로 근원 기체인 C2H2/H2에 육불화황(SF6) 기체를 혼합 첨가하여 합성한 것으로, 나노크기의 탄소코일(Carbon coils) 증착반응 이전에 니켈 촉매를 증착하고 수소 플라즈마로 전처리를 하였으며, 반응공정에 따라서 SF6 기체를 주입하였고, 기판(SUBSTRATE) 위에 증착된 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)에 대한 생성 밀도, 모노폴리지, 그리고 구조의 특성을 조사하였으며, 결과적으로 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)의 대규모 생산은 SF6 기체의 주입에 의해 조절됨을 알 수 있다. 성장밀도를 증가시키는 황(S) 불순물의 특성과 관련이 있는 것으로 나타나며, 그 특징을 가지는 육불화황(SF6) 가스 주입시간으로 기하학적으로 조절된 마이크로 또는 나노크기의 탄소코일(Carbon coils)의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01) C01B 32/05(2013.01)
출원번호/일자 1020100111428 (2010.11.10)
출원인 신라대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1213602-0000 (2012.12.12)
공개번호/일자 10-2012-0050090 (2012.05.18) 문서열기
공고번호/일자 (20121218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.10)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 사상구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성훈 대한민국 경상남도 양산시
2 김남석 대한민국 부산광역시 금정구
3 엄준호 대한민국 경상남도 창원시 진해구
4 전영철 대한민국 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김일성 대한민국 부산광역시 사하구 낙동대로 ***, *층 ***호 킴스국제특허법률사무소 (하단동, 영동 힐 타운)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 신라대학교 산학협력단 부산광역시 사상구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0733359-05
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.16 수리 (Accepted) 9-1-2012-0017638-66
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0161164-19
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0291233-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.04.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0291397-53
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0643133-76
8 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.11.13 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0930582-60
9 등록결정서
Decision to Grant Registration
2012.11.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0695296-51
10 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0954151-57
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.30 수리 (Accepted) 4-1-2019-5020091-48
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번호 청구항
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육불화황(SF6)과 같이 황과 할로겐족 원소를 결합시킨 물질을 합성 반응에 첨가하여 열화학기상증착(Thermal-Chemical Vapor Deposition)장치의 지지대로 사용하는 보트(Boat)와 함께 열화학기상증착(Thermal- Chemical Vapor Deposition)장치의 반응관에 집어넣고, 600~900℃로 온도에서 원료가스인 아세틸렌(C2H2)과 같은 탄화수소와 수소(H2)가스를 혼합하여 넣고 여기에 첨가 기체로 육불화황(SF6) 가스를 5~50 sccm 사이의 유속으로 탄소코일(Carbon coils)을 합성하는 제조 방법에 있어서, 상기 육불화황(SF6) 가스의 주입시간을 1~90분 내로 조절하여 기하학적으로 조절된 탄소코일(Carbon coils)을 합성하는 것을 특징으로 하는 탄소코일(Carbon coils) 제조 방법
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