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표면탄성파를 이용하는 단일 주파수 또는 다중 주파수를 이용하는 RF 소자의 동작 유무를 검사하는 방법에 있어서,상기 RF 소자의 압전물질의 표면에 레이저 빔을 조사하여 상기 RF 소자의 표면에서 반사된 빔의 세기나 광 신호를 분석하여 이상 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제1항에 있어서, 상기 RF 소자의 표면에서 반사된 빔의 세기나 광신호를 분석함에 있어서, 상기 반사된 빔이 다른 빔과 합하여져 광 감지기에 의해 감지되어 분석되며 상기 빔들을 합하는 것을 간섭계의 원리를 이용하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제2항에 있어서, 상기 반사된 빔이 다른 빔과 합하여지는 단계가 상기 레이저 빔이 단색광으로서 빔 분리기에 의해 두 개로 분리되며, 상기 분리된 빔의 하나는 RF 소자의 표면에 반사되고 다른 하나는 거울에 반사되어 다시 두 개의 분리된 빔들의 간섭계를 통해서 합해지는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제3항에 있어서, 상기 RF 소자에 조사되는 분리된 빔은 집광렌즈를 거쳐서 상기 표면에 반사되고, 그리고 상기 분리된 빔들이 파장판을 거치며 또한 상기 빔 분리기를 통해서 다시 하나의 광 수집기에 의해 수집되는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제4항에 있어서, 상기 광 수집기에 수집된 빔의 정보를 증폭하여 데이터 수집장치에서 저장 분석하며, 그리고 상기 데이타 수집장치와 연동하여 상기 RF 소자를 움직이면서 상기 분리된 빔들의 수집 및 분석되는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제5항에 있어서, 이동되며 검사된 각 위치에서 수집된 빔의 세기나 광 신호의 차이에 대한 데이타를 매핑기법을 이용하여 표면탄성파의 형성 분포 또는 이상이 있는 부분에 대한 정보를 얻을 수 있는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 RF 소자에 표면탄성파를 형성시킨 것과 시키지 않은 상태에서 각각 간섭계를 통해 비교 검사하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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표면탄성파를 이용하는 단일 주파수 또는 다중 주파수를 이용하는 RF 소자의 동작 유무를 검사하는 시스템에 있어서, 상기 시스템이 레이저 빔 발생장치 및 광 감지기를 포함하며, 상기 레이저 빔 발생장치에서 발생된 레이저 빔은 상기 RF 소자에 조사되어 반사되도록 하며, 상기 RF 소자의 표면에서 반사된 빔을 광 감지기에서 감지하여 빔의 세기나 광 신호를 분석하여 이상 유무를 검사하는 것을 특징으로 하는 시스템
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제8항에 있어서, 상기 시스템이,상기 레이저 빔 발생장치에서 발생된 레이저 빔을 두 개로 분리하는 빔 분리기; 및 상기 빔 분리기에 의해 분리된 하나의 빔을 다시 반사하는 거울;을 더 포함하며, 상기 빔 분리기는 분리된 다른 빔은 상기 RF 소자에 조사되어 반사되도록 하며, 상기 분리된 두 빔은 각각 거울과 RF 소자에 반사된 후 다시 상기 광 감지기에 의해 감지되며, 상기 레이저 빔의 간섭계를 통해서 RF 소자의 표면탄성파를 검사하는 것을 특징으로 하는 시스템
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제9항에 있어서, 상기 분리된 빔들이 파장판을 거쳐서 반사되어 오며 그리고 상기 RF 소자에 반사되는 빔은 집광 렌즈를 거쳐서 조사 및 반사되는 것을 특징으로 하는 시스템
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제10항에 있어서, 상기 광 감지기에 의해 수집된 빔의 간섭 정보들이 증폭기를 거쳐 증폭되어 데이터 수집장치로 보내져서 저장 분석되며, 그리고 상기 데이터 수집장치와 연동하여 상기 RF 소자를 이동시키면서 검사하는 것을 특징으로 하는 시스템
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제11항에 있어서, 이동되며 검사된 각 위치에서 수집된 빔의 세기나 광 신호의 차이에 대한 데이타를 매핑기법을 이용하여 표면탄성파의 형성 분포 또는 이상이 있는 부분에 대한 정보를 얻는 것을 특징으로 하는 시스템
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제8항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 RF 소자에 표면탄성파를 형성시키는 수단을 더 포함하여, 상기 RF 소자에 표면탄성파를 형성시킨 것과 시키지 않은 상태에서 각각 간섭계를 통해 비교 검사하도록 하는 것을 특징으로 하는 시스템
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