| 요약 |
본 발명은 멤스(MEMS:Micro Electro Mechanical Systems) 기술을 이용하며 의료 응용 분야에도 적용가능한 마이크로 펌프에 관련한 것으로서, 특히 기계요소인 밸브를 대신하여 자성유체를 펌핑원으로 적용하므로써 디바이스의 제작비 절감효과와 초소형 기계 적용시 재료의 한정성을 극복할 수 있는 자성유체를 이용한 구동기 및 이 구동기의 제작방법에 관한 것이다.본 발명의 목적은 자성유체를 이용하여 마이크로 펌프를 구동시킴에 따라 저전압 대변형, 고속 응답성, 인체내에 이식이 가능한 자성유체를 이용한 구동기 및 이 구동기의 제작방법을 제공하는데 있다.이를 위한 본 발명의 제 1 형태에 따르면,전원의 인가에 따라 자기장을 발생시키는 코일(coil) 형상의 자기장 발생부(12)가 상면 중앙부에 형성된 제 1 기판(10);상기 제 1 기판(10) 상에 적층되며, 상기 자기장 발생부(12)와 상응하는 위치에 자기장에 의해 반응하는 자성유체(1)가 수용되도록 서로 연통되는 중앙공간(22a)과 양쪽공간(22b)으로 나누어진 상/하 개방형의 수용공간(22)을 갖는 제 2 기판(20);상기 제 2 기판(20) 상에 적층되며, 상기 수용공간(22)으로 자성유체(1)를 주입하기 위하여 상기 수용공간(22)의 양쪽공간(22b)과 일치하는 주입구(32)를 가지고, 상기 주입구(32)를 회피한 중앙부분에는 상기 수용공간(22)의 중앙공간(22a)과 연통되는 자성유체 유동공간(33)을 갖는 제 3 기판(30);상기 자성유체 유동공간(33)을 커버링하며 부착되는 연질재의 박막(40)을 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.본 발명의 제 2 형태에 따르면, 제 1 실리콘 패널(11) 상에 도금기반층(13)을 증착하는 단계; 상기 도금기반층(13) 상에 후막감광막(14)을 코팅하는 단계; 상기 후막감광막(14)의 일부분을 형상화 하는 패터닝 단계; 상기 후막감광막(14)이 열린부위(A)에 코일도금(15)을 하는 단계; 상기 코일도금(15)된 부위를 제외한 나머지 후막감광막(14)을 제거하는 단계; 상기 상기 코일도금(15)된 부위를 제외한 나머지 도금기반층(13)을 제거하는 단계에 의해 제 1 기판(10)을 제작하고;제 2 실리콘 패널(21)의 상기 코일도금(15)된 부위와 상응하는 위치에 자성유체(1)를 수용하기 위한 수용공간(22)을 형성하여 제 2 기판(20)을 제작하며;제 3 실리콘 패널(31)의 상/하면 상에 상/하측 열산화막(33a)(33b)을 각각 증착하는 단계; 상기 하측 열산화막(33b)의 일부가 제거되도록 1차 패터닝 하는 단계; 상기 제 3 실리콘 패널(31) 상에 하측 열산화막(33b)의 패터닝 크기와 상응하는 주입구(32)를 형성하기 위해 1차 에칭함과 함께, 주입구(32) 상에 남아있는 상측 열산화막(33a)을 제거하는 단계; 상기 상측 열산화막(33a) 상에 변형이 자유로운 박막(40)을 증착하는 단계; 상기 하측 열산화막(33b)의 1차 패터닝에 의해 제거된 부위(B)를 회피한 곳 중 일부분이 제거되도록 2차 패터닝(C) 하는 단계; 상기 제 3 실리콘 패널(31)에 2차 패터닝 된 면적에 상응하는 크기의 자성유체 유동공간(33)을 형성하기 위해 2차 에칭함과 함께, 상기 2차 에칭에 해당하는 크기만큼 상측 열산화막(33a)을 제거(D)하는 단계에 의해 제 3 기판(30)을 제작하고;상기 제 1, 2, 3 기판(10,20,30)을 본딩에 의해 순차적으로 적층 결합하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.자성유체, 구동기, 마이크로 펌프, 자기장, 멤스, MEMS
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