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자기장을 발생시키는 자기장 발생부 및 자기장에 반응하는 자성유체를 포함하는 마이크로 펌프에 있어서, 자기장을 발생시키는 복수개의 자기장 발생부(12)가 상면 중앙부에 형성된 제 1 기판(10); 상기 제 1 기판(10) 상에 적층되며, 상기 각 자기장 발생부(12)와 상응하는 위치에 자기장에 의해 반응하는 자성유체(1)가 수용되는 수용공간(22)을 가진 제 2 기판(20); 상기 제 2 기판(20) 상에 적층되며, 상기 각 수용공간(22)으로 자성유체(1)를 주입하기 위한 복수개의 주입구(32)를 가지고, 상기 각 주입구(32)를 회피한 곳에 상기 각 수용공간(22)과 연통되는 자성유체 유동공간(33)을 갖는 제 3 기판(30); 상기 각 자성유체 유동공간(33)을 커버링 하며, 자성유체(1)가 반응할 때는 변형되고 무반응일때는 복귀되는 연질재로 된 복수개의 박막(40); 상기 제 3 기판(30) 상에 적정간격을 두고 설치되어 제 3 기판(30)과의 사이에 피동유체(2)가 이송되는 유로(60)를 형성하는 유로형성패널(50)로 구성하되; 상기 복수개의 자기장 발생부(12)는 컨트롤부(3)에 의해 일부 자기장 발생부(12a)에서 자기장이 발생될 때 나머지 자기장 발생부(12b)에서는 자기장이 발생되지 않으며, 반대로 상기 일부 자기장 발생부(12a)에서 자기장이 발생되지 않을때 나머지 자기장 발생부(12b)에서는 자기장이 발생되는 동작이 주기적으로 반복제어되도록 하고; 상기 제 1 기판(10)의 상부에는 자성유체(1)가 수용되는 자성유체 수용홈(13)을 형성하며, 상기 자성유체 수용홈(13) 상에는 돌기형태의 유체장벽(14)을 형성하여, 자성유체(1)가 응집되는 것을 방지하고, 자성유체(1)가 일정한 압력을 갖도록 한 것을 특징으로 하는 자성유체를 이용한 마이크로 펌프
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